ETUDE SPECTROSCOPIQUE ET MODELISATION DE REACTEURS DE DEPOT DE FILMS DE DIAMANT PAR PLASMA MICRO-ONDE, FONCTIONNANT EN REGIME CONTINU ET IMPULSIONEL

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Publication date
1 January 2000
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Abstract

ORSAY-PARIS 11-BU Sciences (914712101) / SudocSudocFranceF

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