Modification des propriétés magnétiques de couches minces de nickel et de manganèse et réalisation de microstructures magnétiques par implantation ionique en immersion plasma

Abstract

NOUS AVONS TOUT D'ABORD ETUDIE LE DEPOT DE COUCHES MINCES DE MANGANESE ET DE NICKEL SUR SILICIUM 100 PAR PULVERISATION IONIQUE ASSISTEE PAR PLASMA MICRO-ONDE MUL TIDIPOLAIRE. LES COUCHES DE NICKEL ET DE MANGANESE DEPOSEES ONT ENSUITE ETE IMPLANTEES PAR DE L'AZOTE EN UTILISANT LA TECHNIQUE D'IMPLANTATION IONIQUE EN IMMERSION PLASMA ASSISTEE PAR PLASMA MICRO-ONDE DECR. CETTE TECHNIQUE NOUS A PERMIS DE SYNTHETISER LES NITRURES NI3N ET MN4N MALGRE LA METASTABILITE DU NI3N ET LA FORTE REACTIVITE CHIMIQUE A L'OXYGENE DU MANGANESE. NOUS AVONS ENSUITE IMPLANTE DE L'AZOTE DANS UNE DOUBLE COUCHE NI SUR MN POUR LES NITRURER SIMULTANEMENT EN FORMANT L'EMPILEMENT NI3N SUR MN4N. LE CARACTERE METASTABLE DE NI3N ET LA FORTE AFFINITE DU MANGANESE POUR L'AZOTE, TRADUIT PAR UNE GRANDE DIFFERENCE D'ENTHALPIE DE FORMATION DES COMPOSES NI3N ET DES NITRURES DE MANGANESE, A CONDUIT L'AZOTE IMPLANTE A DIFFUSER ENTIEREMENT DANS LE MANGANESE LORS DU RECUIT POST IMPLANTATION. POUR FINIR, NOUS AVONS INITIER L'ETUDE DE LA REALISATION D'UNE MICROSTRUCTURE MAGNETIQUE PAR IMPLANTATION D'AZOTE DANS UNE COUCHE DE NICKEL A TRAVERS UN MASQUE ORGANIQUE.GRENOBLE1-BU Sciences (384212103) / SudocSudocFranceF