Croissance d'oxyde métallique par photolyse dans un réseau d'interférences 3D

Abstract

L'objectif de ce travail de thèse était d'examiner la possibilité de réaliser une croissance de structure tri-périodique par décomposition d'une phase gazeuse dans un champ d'interférences 3D. La croissance directe de l'oxyde de chrome Cr2O3 organisée de façon tri-périodique a été prouvée. Celle-ci a lieu par décomposition photolytique du chlorure de chromyle CrO2Cl2. De plus, comme cette décomposition a été réalisée sur un substrat monocristallin de TiO2, il a été trouvé que la structuration de Cr2O3 présentait des relations d'orientations cristallographiques par rapport à celle du substrat. Le processus commence par une croissance épitaxiale de l'oxyde CrO2 de structure cristalline isomorphe de celle du rutile TiO2. L'oxyde CrO2 se décompose ensuite partiellement en Cr2O3, lui-même cristallographiquement orienté par rapport à CrO2. Puis une croissance de la phase Cr2O3 se poursuit selon les modulations de densité d'énergie électromagnétique du réseau d'interférences.The objective of this thesis was to examine the possibility of carrying out a growth of three-dimensional periodic structures by chemical vapour decomposition in a 3D interfe-rence field. The direct growth of chromium oxide Or20:3 of 3D periodic organization was proven. This one takes place by photolytic decomposition of chromyle chloride Cr02C[2' Moreover, as such a decomposition was realized on T i02 single-crystal substrate, it was found that the structuring of Cr203 exhibits crystallographical orientational relationships with respect to the substrate. The process starts with an epitaxial growth of Or02 which the crystal structure is isomorphous with that of TiCh rutile; CrCh oxide decomposes par tially into C7'203, itself cristallographically orientecl with respect to Cr02' Then a growth of Cr203 phase continues according to the electromagnetic energy clensity modulations of the 3D interference network.GRENOBLE1-BU Sciences (384212103) / SudocSudocFranceF