DEPOT DE COUCHES MINCES D'OXYDE D'ETAIN PUR OU DOPE PAR PROCEDE PLASMA CVD BASSE PRESSION (CARACTERISATION ENERGETIQUES ET REACTIONNELLE DE LA DECHARGE PAR TECHNIQUES SPECTROSCOPIQUES ET MODELISATION)

Authors
Publication date
1 January 2001
Publisher

Abstract

PARIS-BIUSJ-Physique recherche (751052113) / SudocCentre Technique Livre Ens. Sup. (774682301) / SudocSudocFranceF

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