Ellipsometer Mounting System Design Using CAD

Abstract

Рассматривается задача автоматизированного проектирования системы крепления плеч эллип- сометра, являющегося частью установки молекулярно-лучевой эпитаксии с магнитооптическим эллипсометрическим комплексом. Показана возможность проектирования, управляемого задан- ными ограничивающими условиями. При помощи системы автоматизированного проектирова- ния с использованием математического моделирования была найдена оптимальная форма креп- ления плеч эллипсометра. Было определено ускорение, возникающее при типичных перегрузках камеры, при этом максимальное отклонение луча на приемнике анализатора не превышало до- пустимого для проведения измерений отклонения.Ellipsometer arms mounting is a part of MBE system with magneto-optic ellipsometric complex, for which the automated designing task has been examined. The ability of the limiting conditions driven design has been shown. Using CAD and mathematical modeling the optimal form of ellipsometer mounting arms was found. The acceleration that appears under typical mechanical overloads has been defined, under the condition that the maximum beam deviation of the analyzer did not exceed the admissible deviation for carrying out measurements