Fabrication and study of Cu contacts on large-crystalline p-type Si

Abstract

94 σ.Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο--Μεταπτυχιακή Εργασία. Διεπιστημονικό-Διατμηματικό Πρόγραμμα Μεταπτυχιακών Σπουδών (Δ.Π.Μ.Σ.) “Μικροσυστήματα και Νανοδιατάξεις”Σκοπός της διπλωματικής εργασίας είναι η κατασκευή και μελέτη επαφών μετάλλου-ημιαγωγού (επαφών Schottky) χρησιμοποιώντας ως μέταλλα Cu και Al σε πολυκρυσταλλικό Si p-type και την παρεμβολή στην διεπιφάνεια ημιαγώγιμων υμενίων οξειδίων μεταβατικών μετάλλων και σύγκρισή τους με επαφές απουσίας αυτών.This diploma thesis is referred to the fabrication and study of Cu and Al contacts on large-crystalline p-type Si (used for the fabrication of solar cells). Thin films of transition metal oxides were inserted between the metal and the semiconductor and the resulting contacts were compared with those formed without oxides.Πανούσης Ι. Νικόλαο