Представлен анализ структуры КВЧ микроскопа, конструкции зондового элемента и использования КВЧ автодинных модулей как варианта реализации микроволной сканирующей микроскопии. Показано существенное упрощение реализации КВЧ микроскопа при использовании автодинных датчиков