带运动补偿的高压馈入真空态装置

Abstract

<p align="left"><font face="宋体" size="3">发明主要涉及一种带运动补偿的高压馈入真空态装置。包括有高压馈入导电杆(22)，导电杆(22)位于真空腔体(9)内，导电杆(22)一端接高压电极(3)，与高压电极(3)对应设有接地电极(2)，导电杆(22)另一端穿过过渡套(21)和外绝缘陶瓷(14)接高压输出件(16)，过渡套(21)通过法兰(11)安装在真空腔体(9)上，外绝缘陶瓷(14)一端通过压环(20)和螺栓与过渡套(21)相连，外绝缘陶瓷(14)另一端安装有压盖(17)，外绝缘陶瓷(14)的两端分别设有屏蔽环(19)和屏蔽球(15)。其消除了额外增加的高压电极及其驱动装置运动阻力，实现对高压电场运动的精确性控制，而且具有灵活、可靠、高真空、体积小、输送电压高的特点。</font></p