奥氏体不锈钢真空除气工艺
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Abstract
本发明公开一种对用于超高真空系统的材料进行除气处理的工艺方法,以及这种方法所使用的装置。本发明的工艺方法是将材料置入真空炉内,使炉内工作真空度小于10↑[-3]Pa,以3~6℃/分钟的升温速率升温至500±10℃,保温20分钟,再以25~35℃/分钟的升温率升温至950±10℃,保温时间按每毫米工件壁厚60分钟确定,然后让系统自然冷却到850℃,再向真空炉内充高纯度的隋性气体,在15分钟内使炉内温度降低到600℃以下,然后让工件随炉冷却到80℃以下。本发明所用的装置是由真空炉、抽气泵、炉内加热装置、炉内温度传感器、温度控制装置、真空测量装置、液氮冷阱和阀门等构成