奥氏体不锈钢真空除气工艺

Abstract

本发明公开一种对用于超高真空系统的材料进行除气处理的工艺方法，以及这种方法所使用的装置。本发明的工艺方法是将材料置入真空炉内，使炉内工作真空度小于１０↑［－３］Ｐａ，以３～６℃／分钟的升温速率升温至５００±１０℃，保温２０分钟，再以２５～３５℃／分钟的升温率升温至９５０±１０℃，保温时间按每毫米工件壁厚６０分钟确定，然后让系统自然冷却到８５０℃，再向真空炉内充高纯度的隋性气体，在１５分钟内使炉内温度降低到６００℃以下，然后让工件随炉冷却到８０℃以下。本发明所用的装置是由真空炉、抽气泵、炉内加热装置、炉内温度传感器、温度控制装置、真空测量装置、液氮冷阱和阀门等构成