Završni rad sastoji se od dvije cjeline:
- Teorijskog dijela
- Eksperimentalnog dijela
Teorijski dio opisuje PACVD metodu prevlačenja, sastavne dijelove CVD sustava i njihovu svrhu, opis procesa prevlačenja, prednosti i nedostatke procesa, te prekursore koji se najčešće upotrebljavaju za dobivanje prevlak. Svojstva prevlaka i uporaba PACVD-a su obrađeni u posebnim poglavljima.
Eksperimentalni dio se sastoji od opisa predobrade uzoraka za PACVD postupak, te kvantitativna kemijska analiza prevlake GDOES-om i debljina prevlake mjerena calotesterom
