GDR Ondes, 17-18 janvier 2013, Grenoble, FranceNous présentons une transition coplanaire-microruban (CPW-MS) réalisée sur un matériau diélectrique de type benzocyclobutène (BCB) en couche mince, couramment utilisé en microélectronique. Cette transition, réalisée sans via ni structuration du plan de masse inférieur, simplifie la fabrication des dispositifs opto-hyperfréquences réalisés à partir de matériaux en couche mince et dont le signal est véhiculé par une ligne microruban. C’est le cas, en particulier, des modulateurs électro-optiques à ondes progressives fabriqués sur matériau polymère. Cette transition présente une bande passante expérimentale supérieure à 75 GHz avec une fréquence de coupure basse de seulement 1 GHz
