Depozice organosilanových polymerních vrstev plazmově připravených podpořených CVD

Authors
Publication date
1 January 2006
Publisher

Abstract

Deposition of Organosilicon Polymer Thin Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

    Similar works

    Full text

    thumbnail-image

    Available Versions

    National Repository of Grey Literature

    redirect
    oaioai:invenio.nusl.cz:35943
    Last time updated on 16/10/2015