'Anadolu Universitesi Bilim ve Teknoloji Dergisi-A: Uygulamali Bilimler ve Muhendislik'
Abstract
Tez (yüksek lisans) - Anadolu ÜniversitesiAnadolu Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, İleri Teknolojiler Anabilim DalıKayıt no: 450104Yarı iletken kalayoksit gaz sensörleri düşük üretim maliyetlerinden ve yanıcı gazları algılama özelliklerinden dolayı yaygın bir şekilde kullanılmaktadır. Kalayoksit nanopartikül ve filmlerinin üretimi için sputter, sol jel, kimyasal buhar birikimi ve elektrosprey gibi birçok yöntem kullanılmaktadır. Elektrosprey kaplama yöntemi gaz sensörü üretimi için yeni bir tekniktir. Bu çalışmada elektrosprey kaplama yöntemi ile ticari kalayoksit (SnO2) tozu ve SnCl4.5H2O başlangıç malzemesi kullanılarak SnO2 gaz sensörü amaçlı kaplama çalışmaları yapılmıştır. Elektrosprey kaplama yöntemi parametrelerinin film morfolojisine etkileri X-ışınları difraktometresi (XRD), enerji saçınımlı x-ışınları spektrofotometresi (EDX) ve taramalı elektron mikroskobu (SEM) ile incelenmiştir
