Fabrication of well defined nanoporous structures with application in membrane sensing

Abstract

Tato bakalářská práce se zabývá přípravou plasmonického biosensoru založeného na vysoce definovaných porézních strukturách vytvořených v nitridu křemíku obsahujících kovové nanomenhiry. Tyto porézní struktury byly připraveny pomocí metody reaktivního iontového leptání nitridové vrstvy skrze dočasnou masku připravenou elektronovou litografií následované depozicí kovové vrstvy tvořící finální nanomenhiry pomocí napařování a magnetronového naprašování. Práce shrnuje finálně dosažené výsledky a předkládá úspěšný návrh postupu výroby sensoru bez kovové kontaminace nosného povrchu.Theme of this bachelor thesis is focused on preparation of the metal nanomenhir structures situated in highly oriented matrix of silicon nitride nanopores based plasmonic biosensor. Porous structures were prepared by reactive ion etching of silicon nitride film using electron beam lithography prepared temporary mask as a template. Deposition of metals was handled by evaporation and magnetron sputtering and results was compared. Finally, this work assumes reached results including successful approach of sensor preparation without contamination of surrounding surface by heavy metal ions.