Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Tato práce se zabývá problematikou snímače tíhy vytvořeného na keramice nízkých teplot. Snímač tíhy převádí měřenou fyzikální veličinu na elektrický signál. Ke snímání tíhy se používají senzory tenzometrické, kapacitní a optické. Pomocí 3D struktury na LTCC lze konstruovat snímače o více vrstvách s otvory a výřezy. Na tuto vrstvu lze nanášet pasivní součástky pomocí tenkovrstvé nebo tlustovrstvé technologie a vytvářet vodivé cesty, kontakty pro součástky a vývody. V praktické části práce je navrhnuto, realizováno a změřeno několik typů konstrukce snímače tíhy. Důraz je kladen na tenzometrický páskový senzor a případné problémy s jeho výrobou, laminací a deformací při výpalu.This thesis deals with the problems of the pressure sensor made on a low temperature co-fired ceramics. The pressure sensor converts the measured physical quantity to the electrical signal. The strain-gauge, capacitive and optical sensors are used for scanning of the pressure. It is possible to construct the multilayer sensors with holes and cutouts, through the use of the 3D structure on LTCC sensors. The passive parts can be applied on this layer through the thin-layer or thick-layer technology, which creates conductible paths and contacts for parts and outlets. In the practical part of the work, a few construction types of pressure sensors are designed, implemented and measured. Emphasis is given to strain-gauge strip sensor and possible problems during its manufacture, lamination and deformation of burn-out.
