Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Předkládaná práce se zabývá teorií depozice velmi tenkých vrstev pomocí pulsního magnetronového naprašování a návrhem, realizací a testováním napájecího zdroje pro pulsní magnetronové naprašování.The delivered thesis deals with the theory of very thin layers deposition by means of pulse magnetron sputtering and the proposal, realization and testing of the power supply source for the pulse magnetron sputtering.
