본 발명은 금속 알콕사이드 및 유기물을 혼합하여 금속-유기물 전구체 용액을 준비하는 제 1 단계; 입자가 분산된 용매에 상기 금속-유기물 전구체 용액을 첨가하여 상기 입자 표면에 금속-유기물 전구체 흡착막을 형성하는 제 2 단계; 및 상기 금속-유기물 전구체 흡착막이 형성된 입자를 가열하여 표면에 금속 산화물 막이 형성된 입자를 형성하는 제 3 단계; 를 포함하고, 상기 금속 산화물 막의 두께가 목표하는 두께에 도달할 때까지 상기 제 2 단계 및 제 3 단계를 교대 반복하여 수행하는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 막 코팅 방법을 제공한다
