Contaminant removal efficiency, design parameter in cleanrooms

Abstract

In cleanrooms worden hoge ventilatievouden gehanteerd. Dit is in lijn met de beschikbare richtlijnen [1]. Normaal gesproken worden de daarvoor benodigde debieten 24/7 gerealiseerd zodat de cleanroom continu op het gewenste niveau presteert. Dit is daarmee een energie-intensieve activiteit. In twee deelonderzoeken is onderzocht wat de mogelijkheden zijn om het ventilatie-energiegebruik van cleanrooms te reduceren, bij een gelijkblijvende prestatie. In dit deelonderzoek is de focus op de efficiency waarmee geventileerd wordt om verontreinigingen af te voeren

    Similar works