Materials and processes for manufacturing the MEMS components

Abstract

W artykule przedstawiono zarys problematyki związanej z mikro - elektro - mechanicznymi systemami, a w szczególności podano informacje dotyczące stosowanych materiałów i technologii do ich wytwarzania. Obszar zainteresowań tematyką MEMS jest bardzo duży. Układy MEMS znajdują zastosowanie we wszystkich dziedzinach życia. Proces ich projektowania jest interdyscyplinarny i wymaga zastosowania specjalistycznych aplikacji. Podstawowym materiałem stosowanym w wytwarzania układów MEMS jest krzem. Obecnie identyfikowanych jest ponad 200 technologii stosowanych w wytwarzaniu MEMS, a wiele innych jest jeszcze na etapie badań laboratoryjnych.The paper presents the outline of problems connected with MEMS manufacturing, especially data related to materials and technologies applied in practice. Area of MEMS is interested very wide. MEMS have been applied almost in each branch of our life. Process of MEMS design is interdisciplinary and needs a sophisticated applications. The main material in MEMS manufacturing is silicon (Si). Nowadays over 200 special technologies are applied in MEMS manufacturing; many of other is in the stage of laboratory investigations. They are presented in this paper