The uncertainty of measurement of long gauge blocks with a modernized interferometric comparator

Abstract

Dla zmodernizowanego komparatora interferencyjnego do wzorcowania długich płytek wzorcowych o długości do 500 mm została oszacowana niepewność pomiaru. Stanowisko umożliwia wykonywanie pomiarów metodą opartą na detekcji końców płytki mierzonej z wykorzystaniem efektu interferencji w świetle białym i pomiarze przemieszczenia zwierciadła odniesienia interferometrem laserowym, która została uzupełniona o dokładniejszą metodę reszt ułamkowych opartą na dwóch stabilizowanych laserach He-Ne. Przedstawiona została analiza równania pomiaru i źródeł niepewności pomiaru dla obu metod, wraz z budżetem niepewności. Słowa kluczowe: długie płytki wzorcowe, interferencja, światło białe, metoda reszt ułamkowych, niepewność pomiaru.The measurement uncertainty for a modernized gauge block interferometer for long gauge blocks up to 500 mm, used in the Length Laboratory of Length and Angle Division of GUM, was evaluated. After modernization the measurement of gauge blocks with the modernized set-up may be carried out using the method applied so far. The method consists in using the low coherence white light for detection of gauge block ends by interference and measuring the reference mirror displacement corresponding to the length of the gauge block measured by the Renishaw interferometer. After modernization the more accurate method of exact fractions based on interference of two stabilized He-Ne laser light is also possible. The model equations and the detailed analysis of the uncertainty sources with the uncertainty budget and the expanded uncertainty are presented. The uncertainty budgets for both methods show that they have many common contributions