一种新型MEMS滤波器在EDFA中的应用

Abstract

文章提出了一种基于微电子机械系统（Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS）的新型可调谐光滤波器（OTF）,分析了其基本原理和结构,研究了其光学特性,并制作出了OTF成品。得到的OTF成品体积只有51 mm×16 mm×10 mm,3 dB带宽约为0.3 nm,具有体积小、控制简单和光学性能优良等特点。最后,研究了这种MEMS OTF用于EDFA前置放大器时的特性