Karakterisasi Temperatur Elektron (Te) Dari Spektroskopi Emisi Optik Untuk Plasma Gas Argon Yang Dihasilkan Dari Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (Pe Cvd)

Abstract

Studi karakterisasi temperatur elektron (Te) untuk plasma gas argon telah dilakukan. Plasma gas argon murni dihasilkan dari Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE CVD) dan spektrum emisi diukur dari Optical Emission Spectroscopy (OES).Dari spektrum emisi plasma, diperoleh posisi panjang gelombang dan intensitas emisi atomik dari plasma argon. Jenis spesies ditentukan dengan mencocokan panjang gelombang dengan database National Institute of Standard and Technology (NIST). Temperatur elektron dihitung menggunakan persamaan Bolztmann. Variasi laju alir gas argon dalam plasma berpengaruh pada temperatur elektron. Semakin tinggi laju alir gas argon, maka temperatur elektronnya semakin besar