化学气相沉积法制备纳微ZnO的实验和模拟研究进展

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Publication date
1 January 2016
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Abstract

纳／微氧化锌材料性能优良，用途广泛，制备方法较多，其中化学气相沉积法（CVD）是较常用的方法之一。详细介绍了CVD方法制备纳米氧化锌的主要影响因素，概述了计算流体动力学（CFD）模拟在化学气相沉积法方面的应用和研究现状，并指出应该采用实验研究和计算模拟相结合的方法进行研究，利用计算模拟指导实验，从而实现纳微结构的可控生长

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