MEMS based thin film 2 GHz resonator for CMOS integration

Authors
Publication date
21 April 2010
Publisher
'Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)'

Abstract

科研費報告書収録論文(課題番号:13305010・基盤研究(A)(2) ・H13～H15/研究代表者:江刺, 正喜/ナノメートルの精度で動く分布型マイクロ・ナノマシン

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