Мета роботи – встановлення закономірностей впливу виду іонів, їх дози і
енергії на елементний склад, структурно-фазовий та напружено-
деформований стан, а також механічні і трибологічні властивості
багатошарових наноструктурних покриттів на основі нітридів перехідних та
тугоплавких металів з теоретичної та експериментальної точки зору.
Об’єкт дослідження – фізичні та хімічні процеси утворення радіаційних
дефектів у багатошарових та багатоелементних нітридних покриттях на основі
перехідних та тугоплавких металів, процеси фазоутворення та дифузії, та
механічні та трибологічні властивості покриттів до та після іонної імплантації.
Предмет дослідження – фізичні, хімічні, механічні та трибологічні
властивості багатошарових та багатоелементних наноструктурних нітридних
покриттів на основі перехідних та тугоплавких металів викликані в результаті
імплантації іонів Au-
, Si+
, Xe+ різних доз та енергій у їх поверхню
