Résonateur en anneau en silicium-germanium à fort facteur de qualité dans le moyen infrarouge

Authors
Publication date
4 July 2022
Publisher
HAL CCSD

Abstract

International audienceNous démontrons un résonateur en anneau à fort facteur de qualité dans le moyen infrarouge sur plateforme intégrée de silicium-germanium sur silicium. Le résonateur couplé par un guide d'accès présente un facteur de qualité totale de 90 000 autour de 4,18 µm

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