微机械隧道陀螺仪当隧道间距在10Å数量级时，才会产生隧道电流；隧道电流和隧道间距之间存在指数非线性关系，使得开环工作的微机械隧道陀螺仪动态范围变窄；隧道电流微弱，极易被噪声淹没。因此微机械隧道陀螺仪必须工作在闭环控制状态，实现并维持10Å的隧道间距，增大器件的动态范围，抑制干扰，提高系统的信噪比。然而，在微机械隧道陀螺仪反馈闭环控制系统的设计过程中，需要解决隧道陀螺仪的建模、控制方案的设计、控制策略的选择以及控制系统的实现等一系列关键技术问题，本文围绕这些问题进行了如下研究工作： 1)结合微机械隧道陀螺仪工作的哥氏效应和隧道效应，建立了敏感方向的数学模型，通过仿真和实...The tunneling current only occurs when the gap between the two tunneling electrodes of the micromchined tunneling gyroscope is in order of 10 Å. The strong nonlinear exponential relationship between the tunneling current and tunneling gap would result in a very narrow-band device when the gyroscope operates in open-loop mode. The tunneling current is so feeble that it would be overlaid by s...学位：工学博士院系专业：物理与机电工程学院机电工程系_测试计量技术及仪器学号：B20042900
