Plasmaeklektrolytische Oxidation (PEO) ist ein plasmagestütztes Anodisierungsverfahren, bei dem das Substrat, meistens ein Leichtmetall oder eine Leichtmetalllegierung, zusammen mit einer inerten Kathode in einem häufig wässrigen, basischen Elektrolytbad platziert wird. Ziel ist eine Oberflächenpassivierung, die in harten und stark haftenden keramischen Beschichtungen resultiert.
Zu Prozessbeginn findet ein Anodisierungsprozess statt, der zur Bildung einer ersten Oxidschicht führt. Wird eine kritische Durchbruchspannung überschritten, treten stochastische Zündungen transienter Mikroentladungen an der Substratoberfläche auf. Diese Mikroentladungen führen zu charakteristischen Schichteigenschaften.
Die Beobachtung und die Charakterisierung dieser Mikroentladungen sowie deren Wechselwirkung mit den verschiedenen am Prozess beteiligten Aggregatzuständen sind Ziel dieser Arbeit. Daraus werden neue Erkenntnisse über die Zündung von Mikroentladungen während PEO abgeleitet
