Kavitasi merupakan fenomena perubahan phase uap zat cair pada fluida yang mengalir. Perubahan tersebut dapat diakibatkan turunnya tekanan maupun naiknya temperatur fluida, turbulensi dan pulsasi pada pipa isap. Indikasi kavitasi adalah timbulnya gelembung-gelembung uap, getaran dan suara bising. Dampak kavitasi pada pompa adalah turunnya unjuk kerja (performance) dan kerusakan komponen pompa. Pada penelitian ini divariasikan perubahan kapasitas untuk mengamati sirkulasi balik didalam system (Internal re-circulation) yang merupakan penyebab terjadinya kavitasi. Untuk mengetahui terjadinya kavitasi parameter yang digunakan dengan mengukur perilaku getaran pompa. Pengukuran dilakukan dengan menggunakan accelerometer DI-440 SKF dengan arah pengukuran aksial, vertikal dan horizontal pada frequensi domain dan time domain. Hasil penelitian ini menujukan sinyal spektrum getaran pada pompa semakin besar pada kapasitas terendah (70%) dan kapasitas tertinggi (100%) ditandai dengan semakin besarnya amplitudo. Karakteristik spektrum getaran fenomena kavitasi berada di rentang frekuensi 100.000 CPM-200.000 CPM, serta rekomdasi kapasitas pengoperasian pompa mulai rentang 0,00205 m3/s -0,002500 m3/s
