Mediciones de rompimiento electrostático en separaciones micrométricas

Abstract

La continua miniaturización de dispositivos electrónicos y electro-mecánicos ha permitido el estudio de efectos no visibles a macroescalas, como es el caso del comportamiento de electrodos separados a microescala. Se presenta aquí el comportamiento de electrodos de aluminio a presión atmosférica para un rango de separaciones de 1 mm a 22 mm. Convencionalmente, el comportamiento de electrodos se describe a partir de la curva de Paschen. Los resultados demuestran que, a separaciones menores de 4 mm, el voltaje de rompimiento en los electrodos decae drásticamente y no presenta un mínimo como lo predice la curva de Paschen. Esta modificación establece condiciones críticas de operación en dispositivos basados en electrodos con separaciones a microescalas./ The continuous miniaturization of electronic and electromechanical devices has allowed the study of non-visible effects on macroscales, as it is the case of the behavior of microgap separated electrodes. The behavior of aluminum electrodes at atmospheric pressure appears here for a rank of separations of 1 mm to 22 mm. The Paschen curve is conventionally used to describe the behavior of electrodes. The results demonstrate that at separations smaller than 4 mm the breakdown voltage in the electrodes decays dramatically and it does not present a minimum as predicts the Paschen curve. This modification establishes critical conditions of operation in devices based on electrodes with microgap separations