Sensor de electrones para microscopia electrónica

Abstract

Sensor de electrones para microscopia electrónica. La presente invención es un sensor de electrones (1), y un sistema con una pluralidad de sensores de electrones (1) para microscopia electrónica realizada mediante un microscopio electrónico. Más concretamente, el microscopio electrónico genera un haz de electrones (10) que comprende al menos un electrón que incide sobre una superficie de recepción lateral (3) de dicho sensor de electrones (1) y este genera una carga eléctrica de pares electrón-hueco (e-h) que son detectados y/o medidos por al menos electrodos (6, 7) vinculados con una unidad de circuitería eléctrica (12) para formar una imagen (11) con elevado rango dinámico y medir la energía de los electrones incidentes en cada pixel de la imagenPeer reviewedConsejo Superior de Investigaciones Científicas (España)B1 Patente sin examen previ