Параметри росту та якість плівки зародкового шару ZnO. Частина 2

Abstract

The results of deposition of ZnO seed-layer on the silicon substrate, Al-coated silicon and Al-coated lithium niobate substrates by sol-gel method at sol concentration of 0,8 and 1,2 M were introduced. It was shown that film roughness and grain size had increased with increasing of the sol concentration. The new results of synthesis of ZnO vertically oriented nanorods on the obtained thin seed-layer on the silicon substrate by hydrothermal method were presented. The diameter and density of synthesized ZnO nanorods were defined, the dependence between such geometrical parameters and seed-layer properties was shown. The obtained results could be applied for design of acoustic wave sensors and nanoscale devices.References 5, figures 5Представлены результаты получения зародышевого слоя ZnO с помощью золь-гель мето-да при концентрациях золя 0,8 и 1,2 М на подложках кремния, на подложках кремния и ниоба-та лития с пленой алюминия. Показано, что с увеличением концентрации золя шероховатость пленки и диаметр зерна увеличиваются. Приведены результаты синтеза вертикальных стерж-невых структур ZnO на полученных тонких пленках зародышевого слоя с помощью метода гидротермального синтеза на подложках кремния. Определены диаметр и плотность синтези-рованных стержневых структур ZnO, показана зависимость таких геометрических параметров стержневых структур от свойств зародышевого слоя. Полученные результаты могут быть ис-пользованы для создания сенсоров на акустических волнах и наноразмерных приборов.Библ. 5, рис. 5.Представлено результати отримання зародкового шару ZnO за допомогою золь-гель мето-ду при концентраціях золю 0,8 та 1,2 М на підкладках кремнію, на підкладках кремнію та ніоботу літію з плівкою алюмінію. Показано, що зі збільшенням концентрації золю шорсткість плівки та діаметр зерна збільшуються. Подано результати синтезу вертикальних стрижневих структур ZnO на отриманих тонких плівках зародкового шару за допомогою методу гідротер-мального синтезу на підкладках кремнію. Визначено діаметр і густину синтезованих стрижне-вих структур ZnO, показано залежність таких геометричних параметрів стрижневих структур від властивостей зародкового шару. Отримані результати можуть бути використані для ство-рення сенсорів на акустичних хвилях та нанорозмірних приладів.Бібл. 5, рис. 5