6 research outputs found
Direct writing of metal conductors with near-uv light
- Author
- C.F. Powell
- C.J. Chen
- D. Braichotte
- D.J. Ehrlich
- D.J. Ehrlich
- D.J. Ehrlich
- F.A. Cotton
- F.A. Cotton
- F.A. Houle
- G. Nathanson
- G.D. Flesch
- G.K. White
- H. H. Gilgen
- H.E. Carlton
- H.H. Gilgen
- H.H. Gilgen
- H.J. Freund
- H.J. Zeiger
- I. Wender
- I.P. Herman
- J.T. Yardley
- K. Piglmayer
- K.E. Lewis
- L.H. Kaplan
- L.I. Maissel
- M. Born
- M. Lax
- M. Wrighton
- P. Petroff
- P. S. Shaw
- Q. Mingxin
- R. M. Osgood
- R. R. Krchnavek
- R. Solanki
- R. Wilson
- R.L. Whetten
- R.M. Osgood Jr.
- R.R. Krchnavek
- S.A. Allen
- T. Cacouris
- T. Cacouris
- T.F. Deutsch
- T.H. Baum
- T.M. Mayer
- Y. Rytz-Froidevaux
- Y.S. Touloukian
- Publication venue
- 'Springer Science and Business Media LLC'
- Publication date
- Field of study
Photonucleation and Photodeposition of A1 on Si from Flowing
- Author
- Publication venue
- 'Springer Science and Business Media LLC'
- Publication date
- 01/01/1989
- Field of study
Excimer laser projection-patterned deposition of Al via photolytically driven decomposition of trialkylamine alane as adsorbate precursor
- Author
- B.E. Bent
- C.J. Chen
- C.J. Chen
- D.A. Mantell
- D.B. Beach
- D.W. Squire
- E. Bauer
- F. Foulon
- F. Foulon
- G.E. Blonder
- G.S. Higashi
- G.S. Higashi
- G.S. Higashi
- H.W. Lee
- J. Flicstein
- J.A. Venables
- J.M. Mundenar
- J.Y. Tsao
- K. Domen
- K. Tsubouchi
- L.H. Dubois
- L.H. Dubois
- M. Hanabusa
- M. Hanabusa
- M. Stuke
- M.E. Gross
- M.E. Gross
- M.E. Gross
- M.J. Cooke
- M.L. Green
- O. Gottsleben
- O. Lehmann
- R. Bath
- R.A. Levy
- T. Cacouris
- T.H. Baum
- W.L. Gladfelter
- Publication venue
- 'Springer Science and Business Media LLC'
- Publication date
- Field of study
Argon-ion laser direct-write Al deposition from trialkylamine alane precursors
- Author
- B.E. Bent
- D.A. Mantell
- D.B. Beach
- E. Bauer
- F. Foulon
- G.E. Blonder
- G.S. Higashi
- G.S. Higashi
- H.W. Lee
- J. Flicstein
- J.A. Venables
- J.W. Amos
- J.Y. Tsao
- K. Tsubouchi
- L.H. Dubois
- L.H. Dubois
- M. Allmen Von
- M. Hanabusa
- M. Hanabusa
- M. Stuke
- M.E. Gross
- M.E. Gross
- M.E. Gross
- M.J. Cooke
- M.L. Green
- O. Gottsleben
- O. Lehmann
- R. Bath
- R.A. Levy
- S. Unamuno De
- T. Cacouris
- T.H. Baum
- W. Kr�uter
- W.L. Gladfelter
- Y. Rytz-Froidevaux
- Y.I. Nissim
- Publication venue
- 'Springer Science and Business Media LLC'
- Publication date
- Field of study
Chemical vapor deposition of aluminum for ulsi applications
- Author
- A. Almenningen
- A. Sekiguchi
- A. Sekiguchi
- A. Sekiguchi
- A. Sekiguchi
- A. Sekiguchi
- A. Sekiguchi
- A. W. Laubengayer
- A. Wee
- A.C. Jones
- A.J. Learn
- B. A. Morrow
- B. A. Movchan
- B. E. Bent
- B. E. Bent
- B. E. Bent
- B. E. Bent
- B. E. Bent
- B. E. Bent.
- C. F. Powell
- C. G. Fleming
- C. Sasaoka
- C. W. Heitsch
- C. W. Heitsch
- C. W. Hitsch
- D. A. Mantell
- D. A. Mantell
- D. B. Beach
- D. Eres
- D. I. Fotiadis
- D. J. Ehrlich
- D. Lubben
- D. Lubben
- D. Pramanik
- D. Pramanik
- D. Pramanik
- D. R. Biswas
- D. R. Strongin
- D. W. Squire
- D. W. Squire
- D.A. Mantell
- D.A. Mantell
- D.A. Mantell
- D.M. Cox
- D.M. Frigo
- E. B. Graper
- E. Wiberg
- F. Lee
- F. M. Elms
- F. Malik
- F. O. Sequeda
- G. B. Raupp
- G. B. Sakharovskaya
- G. E. Blonder
- G. E. Coates
- G. N. Nechiporenko
- G. S. Higashi
- G. S. Higashi
- G. S. Higashi
- G. S. Higashi
- G. S. Higashi
- G. S. Higashi
- G. S. Higashi
- G. S. Higashi
- G. S. Higashi
- G. S. Higashi
- G. S. Higashi
- H. Moffat
- H. Okabe
- H. Terao
- I). R. Strongin
- I. Bakardjiev
- I. P. Herman
- I. Yamada
- I. Yamada
- J. A. Glass
- J. A. Thornton
- J. A. Thornton
- J. B. Kinney
- J. Carlsson
- J. E. Bouree
- J. E. Bouree
- J. E. Bouree
- J. E. Curran
- J. F. Hamilton
- J. Flicstein
- J. Flicstein
- J. K. Ruff
- J. L. Atwood
- J. L. Brum
- J. M. Mundenar
- J. Paul
- J. R. M. Osgood
- J. S. Foord
- J.Y. Tsao
- J.Y. Tsao
- K. F. Jensen
- K. Masu
- K. Tsubouchi
- K. W. Egger
- K.-L Lee
- K.W. Egger.
- L. F. T. Kwakman
- L. H. Dubois
- L. J. Wan
- L. M. Yeddanapalli
- L.H. Dubois
- M. E. Bartram
- M. E. Gross
- M. E. Gross
- M. E. Gross
- M. E. Gross
- M. F. Jarrold
- M. Fischer
- M. G. Simmonds
- M. G. Simmonds
- M. G. Simmonds
- M. G. Simmons
- M. H. J. M. Croon De
- M. Hanabusa
- M. Hanabusa
- M. Hanabusa
- M. Hara
- M. J. Cooke
- M. L. Green
- M. L. Green
- M. L. Hair
- M. Lelental
- M. M. Oprysko
- M. Menon
- M. R. Leys
- M.J. Cooke
- N. Hirashita
- N. Kobayashi
- N. Suzuki
- N. Takeyasu
- R. A. Levy
- R. A. Levy
- R. A. Levy
- R. A. Levy
- R. Bhat
- R. Messier
- R. Messier
- R. Scarmozzino
- R. Solanki
- S. Nishikawa
- S. Rhee
- S. Vaidya
- S. Yau
- Shi-Woo Rhee
- T. Beuermann
- T. Beuerrnann
- T. Cacouris
- T. Cacouris
- T. E. Orlowski
- T. F. Keuch
- T. Fuller
- T. H. Baum
- T. H. Baum
- T. H. Wood
- T. J. Garosshen
- T. Kato
- T. Kobayashi
- T. Kobayashi
- T. Kobayashi
- T. Motooka
- T. Motooka
- T. Motooka
- T. Motooka
- T. Motooka
- T. R. Gow
- T. R. Gow
- T. Shinzawa
- T. V. Vorous
- T. Wartik
- V. Frese
- V. H. Houlding
- V. Hoffman
- V. Shanov
- W. L. Gladfelter
- W. L. Gladfelter
- W. R. Salaneck
- W. R. Smith
- Y. Rytz-Froidevaux
- Y. Zhang
- Y. Zhang
- Y. Zhang
- Y. Zhang
- Y. Zhang
- Y. Zhang
- Y. Zhang
- Y. Zhou
- Publication venue
- 'Springer Science and Business Media LLC'
- Publication date
- Field of study