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The morphological change in block copolymer thin films analyzed by SCF simulation
この論文は国立情報学研究所の電子図書館事業により電子化されました。研究会報告薄膜におけるブロック共重合体のミクロ相分離構造は、膜厚や表面自由エネルギーにより通常バルク状態とは異なる多様な構造を示す。例えば,バルク状態にてシリンダー構造を呈するブロック共重合体が、膜厚によっては球構造を呈する場合がある。この実験では、構造形成初期にみられるシリンダードメインの格子歪みが構造変化を誘起していると予測されている。本研究では、self-consistent field (SCF) theoryに基づいたシミュレーションによりシリンダー構造と球構造のHelmholz自由エネルギーを格子歪みの関数として計算し、薄膜中の構造の安定性に関する検討を行った