혼합기체의 라만 이득 및 광분해율 측정에 관한 연구

학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :물리학과,1997.Maste

인터넷 스트리밍의 著作權法上의 問題點

학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :법학과,2004.Maste

단원자층 증착법으로 증착된 SrTiO₃박막의 증착 특성 및 물성 평가

Thesis(doctoral)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2006.Docto

Effects of complexing agents on Co oxidation-dissolution in cleaning process for advanced memory devices

학위논문 (석사)-- 서울대학교 대학원 : 공과대학 화학생물공학부, 2019. 2. 김재정.현대 반도체 공정의 고도화와 미세화 추세에 따라 기존에 사용하던 텅스텐 컨택 (contact) 에서의 저항 문제가 대두되었다. 이 문제를 해결하기 위해 코발트를 새로운 컨택 물질로 사용하는 연구들이 제시되었고, 균일한 코발트 컨택 형성을 위해 연마 및 세정 공정의 중요성이 높아졌다. 본 연구에서는 연마 후 세정 공정에서의 코발트의 산화 특성과 세정 공정의 구성 요소인 착화제 (complexing agent) 의 효과를 분석하고자 하였다. 전기화학 및 X선 회절 분광법을 활용하여 각 착화제 조건에서 코발트의 산화 경향을 확인한 결과, 코발트(II), 코발트(II, III) 및 코발트(III) 산화물이 형성되는 영역에서 산화 경향의 차이를 보였다. 글라이신과 EDTA가 존재할 경우 β-Co(OH)2가 형성되며 CoOOH로 추가 산화되었고, 시트르산 조건에서는 α-Co(OH)2 형태가 형성되어 Co3O4로 산화되었다. 이와 같은 산화 경향과 착화제의 존재 유무의 차이가 세정 공정에서 코발트의 용해 속도와 메커니즘에 주는 차이를 분석하기 위해 코발트 산화막과 용해도 분석을 진행하였다. 코발트의 용해가 산화와 착화합물 형성을 통한 용해의 두 단계로 구성됨을 감안하여 산화제를 이용해 표면 산화 단계의 속도 제한을 제거한 실험을 병행하였다. 분석 결과 글라이신이 산화제가 없을 때 코발트 표면을 가장 빠르게 용해시켰고 EDTA와 시트르산이 뒤를 이었다. 산화제가 존재한 경우 EDTA가 가장 빠른 용해 속도를 보였다. 글라이신은 모든 착화제 중에서 가장 두꺼운 산화막을 형성하였고, EDTA의 경우 이미 산화된 표면을 제거하는 착화합물 형성에서 가장 뛰어난 성능을 보였다. 하지만 시트르산의 경우 착화합물 형성 능력이 매우 떨어져 표면이 코발트(III) 산화물로 손상되는 경향을 나타내었다. 이처럼 코발트의 전반적인 용해 속도는 코발트 산화물 형성 속도와 착화합물 형성을 통한 산화물 제거 속도에 비례하였고, 글라이신은 빠른 산화물 형성을 통해, EDTA는 빠른 착화합물 형성을 통해 표면을 빠르게 용해시키는 성능을 보였으나 시트르산은 이 성능이 부족해 오히려 표면을 손상시키는 결과를 확인하였다.As the semiconductor process becomes complex and scales down, the high resistivity of conventional W contact has become a significant problem. Researches have been conducted to use Co as a new contact material. Thus, the importance of planarization and cleaning process has been increased to produce a uniform Co contact. In this research, the oxidation of Co and the effect of and complexing agent, which consists of the post-CMP (chemical and mechanical planarization) cleaning process was analyzed. According to the result of electrochemical analysis and X-ray diffraction, there were differences in the oxidation path of Co(II), Co(II,III), and Co(III) in the presence of complexing agent. β-Co(OH)2 was formed and oxidized to CoOOH in the presence of glycine and EDTA, whereas α-Co(OH)2 was formed and oxidized to Co3O4 in the condition with citric acid. The oxide layer of Co and solubility was monitored in response to the species of complexing agent which affects the dissolution rate and mechanism during cleaning process. Since the dissolution of Co consists of two different step, oxidation and complexation, an oxidizer was added to remove oxidation rate limitation. As a result, glycine dissolved Co surface faster than the other complexing agents without oxidizer, followed by EDTA and citric acid. In the presence of oxidizer, EDTA showed the fastest dissolution rate. Glycine formed the thickest oxide layer, while EDTA could remove oxidized Co surface by better complexation capability. However, citric acid deteriorated Co surface to Co(III) oxide due to low capability of complexation. As a result, the overall dissolution rate of Co was proportional to the oxidation rate of Co surface and complexation capability. Glycine showed faster oxidation rate, and EDTA had better complexation capability while citric acid deteriorated Co surface.초록 i LIST OF TABLES v LIST OF FIGURES vi 제 1 장. 서론 1 1.1. 반도체 공정 물질로서의 코발트 1 1.2. 코발트의 특성 및 세정 공정 과정에서 표면 분석의 필요성 4 1.3. 연마 후 세정 공정 5 1.3.1. 연마 후 세정 공정의 필요성 5 1.3.2. 연마 후 세정 공정 방법 5 1.3.3. 연마 후 세정 용액의 구성 요소 6 1.4. 코발트 표면 산화 특성 11 1.4.1. 코발트 산화 형태 및 결정 구조 11 1.4.2. 전기화학적 코발트 산화 형태 11 1.5. 연구 목표 18 제 2 장. 실험 20 2.1. 착화제 용액 조성 20 2.2. 전기화학적 분석 20 2.3. 코발트 표면 물성 분석 23 2.4. 코발트 표면 용해 경향 분석 23 2.5. 코발트(II) 및 코발트(II, III) 산화물 용해 경향 분석 23 2.6. 코발트 화학적 조성 분석 24 제 3 장. 결과 및 토론 25 3.1. 코발트 전기화학적 산화 경향 분석 25 3.2. 착화제에 따른 산화 경향 분석 28 3.3. 착화제에 따른 코발트 산화 경로 분석 31 3.4. 착화제에 따른 코발트 용해 경향 분석 35 3.5. 착화제에 따른 코발트 표면 산화 거동 분석 39 3.6. 착화제에 따른 코발트 표면 산화 전후 용해 거동 분석 43 3.7. 착화제에 따른 Co(OH)2 용해 능력 분석 46 3.8. 착화제에 따른 Co3O4 용해 능력 및 표면 손상 분석 50 3.9. 착화제에 따른 코발트의 화학적 조성 및 산화수 분석 55 제 4 장. 결론 59 참고문헌 62 ABSTRACT 67 감사의 글 69Maste

A Study on Global Strategy for Korean International Express Companies

This study is carried out to suggest empirical global strategies for domestic International Express Companies (IEC). To achieve the goal of the study, several issues and methodology were considered. Firstly the matters of “what is the International Express Companies (IEC) or what factors bring it to emerge?” are considered. Study on the International Express Companies has not still attracted academically so that the International Express Companies (IEC) has been used generally the terms such as Door to Door Service, Desk to Desk, Express, Courier Service in business world. Therefore we need to look up general issues and features of the International Express Companies (IEC). Secondly theoretical background of global strategies such as Integration Responsiveness, Total Global Strategy, Global Alliance, Merger & Acquisition was conducted to analyze global strategies of the International Express Companies (IEC) (these will be considered in the next section) Thirdly the case study on both Korean express companies and foreign global express companies were conducted and the implications of their strategy were also analyzed. Lastly, the following statistics analytical methods were used for analyzing the responses which were collected by questionnaire survey. - Cronbach's alpha verification method and factor analysis were used to analyze the validity and internal reliability, - Structural equation modeling (SEM) was used to test and estimate causal relations using a combination of statistical data and qualitative causal assumptions. - Kendall's ranking verification method was used to identify the ranking among factors. To suggest empirical global strategies for domestic International Express Companies (IEC) we consider how we can establish factor for global strategy and its sub-factors. Namely, the issues were regarding “which factors are most proper for establishment of successful global strategies for the domestic International Express Companies (IEC), which we define as characteristics of Express Industry and its globalization factors” and then “which factors are most proper to enrich (both quality and quantity) for the domestic International Express Companies (IEC), which we define as market entry strategy based on market size or company’s size factors”. The following factors are driven with our deep consideration. Establishment of successful global strategies for the domestic International Express Companies (IEC): characteristics of Express Industry and its globalization factor (five riogenous factors) - market aspects, industry aspects, globalization effect, competition level and the technological level. Enrich (both quality and quantity) for the domestic International Express Companies (IEC): market entry strategy based on market size or company’s size factor and differentiation strategy factor (7 parameter variables) - M&A strategy (market entry strategy based on market size or company’s size factor), integrated logistics enterprise strategy (market entry strategy based on market size or company’s size factor), phased market entry strategy (market entry strategy based on market size or company’s size factor), SCM strategy (differentiation strategy factor), the third party operating strategy (differentiation strategy factor), total logistic operating system strategy (differentiation strategy factor), and differentiation strategy on product and delivery service (differentiation strategy factor). The results of the study are summarized as below. Firstly, in the ranking test of the characteristics of the international express industry and globalization, the construction of advantageous logistics networks (competition level) encompasses others such as the economy of scale effect by globalization, standardization and compatibility of the delivery tech-system (globalization), and good relationship with subcontractor (industry). Secondly, the total logistics operating system strategy is more importantly considered then differentiation strategy, integrated logistics enterprise strategy. Thirdly, the market factor, globalization factor, and technology factor do not represent positive relation to the global strategy while the industry factor and competition factor are positively related to the global strategy. Fourthly, both the market entry strategy based on market size or company’s size factor and differentiation strategy factor work positively for the domestic International Express Companies (IEC) to strengthen their competitiveness. However, there are some limitations that this study has borne: This study is conducted based on both the case studies and the questionnaire survey from the local branch offices and agents of domestic and foreign global express companies which are located only in Busan. As considering most of the international express companies’ head quarters are located in Seoul, this study has some limits in representing the real perception of the head quarters. Therefore, in view of the importance of this area, it is necessary to conduct further study both level of the local branch offices / agents and headquarters of the international express companies later on.제1장 서 론 1 제1절 연구의 목적 1 제2절 연구의 방법과 내용 3 제2장 국제특송의 의의와 현황 4 제1절 국제특송의 정의와 특징 4 제2절 국제특송의 발전 배경 5 제3절 국제특송의 환경 변화 6 1. 정보네트워크와 연결의 경제성 6 2. 전자상거래에서 국제특송시장의 중요성 6 3. 공항의 거점화 7 제4절 국제특송업의 현황 7 1. 국제특송업의 현황과 전망 7 2. 국제특송업체의 국내 현황 8 제3장 글로벌 전략에 관한 이론적 고찰 10 제1절 글로벌 전략의 개념 10 제2절 글로벌 경영전략 모델 11 1. Prahalad and Doz 모델 12 2. Yip (Total Global Strategy) 모델 13 제3절 글로벌 전략 수단 17 1. 글로벌 전략적 제휴 17 2. 기업 인수&#8228합병(Merger & Acquisition: M&A) 20 제4장 국제특송업체의 사례 분석 25 제1절 해외 국제특송업체의 전략 25 1. DHL 26 2. FedEx 28 3. UPS 32 4. TNT 35 제2절 우리나라 국제특송업체의 전략 38 1. (주)한진 39 2. 현대택배 42 3. 대한통운 44 4. CJ GLS 46 5. SWOT 분석 47 제3절 시사점 51 제5장 글로벌전략에 관한 실증분석 54 제1절 연구가설과 연구모형 54 1. 연구가설 54 2. 연구모형 55 제2절 변수의 정의와 측정방법 56 1. 독립변수의 정의와 측정방법 56 2. 매개변수의 정의와 측정방법 57 3. 종속변수의 정의와 측정방법 58 4. 자료수집과 연구대상 58 제4절 실증분석 결과 61 1. 타당성분석 61 2. 신뢰성분석과 순위검정 64 3. 구조방정식에 의한 가설검정 67 제6장 결 론 73 제1절 연구결과의 요약 73 제2절 연구결과의 시사점 74 제3절 연구의 한계점과 향후 연구과제 76 참고 문헌 77 설 문 지 8