用Franz-Keldysh效应研究GaAs表面硫化学钝化

硫钝化是一种比较有效的钝化GaAs表面的方法。使用Na_2S、S_2Cl_2和CH_3CSNH_2三种化学试剂对表面-本征层-重掺杂层(s-i-n~+)结构的GaAs样品进行了钝化，利用光调制反射谱观察到许多个Franz-Keldysh振荡，测量出本征层的电场强度，研究了GaAs表面硫钝化前后费米能级的变化，并且比较了各种钝化方法的钝化效果