A Comparison of TSV Etch Metrology Techniques

International audienceWe use three metrology techniques, vertical scanning interferometry (VSI), confocal chromatic microscopy (CCM), and time domain optical coherence tomography (TD-OCT), for depth measurement of through-silicon vias (TSVs) of various cross sections and depths. The merits of these techniques are discussed and compared. Introduction While sales of semiconductor equipment broke a new record this year, many metrology needs should be addressed to support the development and production of electronic chips based on "More than Moore" scaling. Among these scaling approaches, 3D integration based on TSVs offers superior integration density and reduces interconnect length/latency. Measurements are needed to evaluate the depth uniformity of etched TSVs. Indeed, upon metal filling, geometrical variations of TSVs can affect Cu nails coplanarity and can warp the wafer, resulting in a low stacking yield. Measuring the depth of TSVs is an increasingly challenging task as the diameter of many TSVs has now shrunk to only a few microns

A propos de la distillation du glutaraldehyde

SCOPUS: NotDefined.jinfo:eu-repo/semantics/publishe

Calbindin-D28K and the peptidergic neuroendocrine system in rat gut: an immunohistochemical study

Calbindin-D28K was immunohistochemically localized in myenteric and submucosal plexuses throughout the rat intestine. Calbindin-D28K immunoreactivity was found in about half of myenteric neurons and in more than 90% of submucosal neurons. Calbindin-D28K was also observed in nerve processes running inside ganglia, muscle layers and lamina propria. No correlation could be established between the presence of calbindin-D28K and the distribution of neuropeptides localized in this study (VIP, enkephalin, somatostatin and substance P). In addition, some endocrine-like cells of the ileum were calbindin-D28K-positive. Half of these endocrine cells also contained neurotensin but none of the other neuropeptides investigated.Journal ArticleResearch Support, Non-U.S. Gov'tSCOPUS: ar.jFLWNAinfo:eu-repo/semantics/publishe

Scanning electron microscopic study of the hypothalamic region in man

In the hypothalamic region of the rat, SEM and TEM have shown oligociliated zones with large apical projections of cytoplasm, which may be zones of transport of components from the ventricles towards the underlying tissue. This is particularly apparent at the apex of the tanycytes, with rounded cytoplasmic projections and numerous microvilli, in the 'hypophyseotrophic' area. Similar findings are reported in man. Autopsy specimens show an excellent preservation of the surface structures, and display a complex mosaic of ciliated and non-ciliated cells, similar to those observed in the rat.SCOPUS: NotDefined.jinfo:eu-repo/semantics/publishe

Concerto N ° 2 en ut mineur op. 18 pour piano et orchestre / Serge Rachmaninoff ; le Nouvel Orchestre Philharmonique de Vienne, dir. Hans Swarowsky. Concerto N ° 2 en ut mineur op. 18 pour piano et orchestre : fin. Rhapsodie roumaine / Georges Enesco ; le Nouvel Orchestre Philharmonique de Vienne , dir. William Strickland

Titre uniforme : [Concerto no 2, ut m, op. 18, piano et orchestre]BnF-Partenariats, Collection sonore - BelieveContient une table des matière

Pierre et Marie Curie. Papiers. II — PAPIERS ET CORRESPONDANCE. LXXIX-CI Pierre et Marie Curie. Lettres reçues. C Tabouis -Vouillemin.

Curie, Marie Sklodowska, Mme Pierre. PapiersCurie, Pierre. Note(s) prises à des coursEnseignement. Cours professé par Émile SarrauEnseignement. Note(s) de cours prises par Pierre CurieInstitut du radium. manuscrit(s) provenant de luiJournal. Marie Curie (avril 1906-avril 1907)Labouisse, Ève Curie, Mme Henry Richardson. Manuscrit(s) provenant d'elleLangevin, Hélène Joliot-Curie, Mme Michel. Manuscrit(s) provenant d'elleSarrau, Émile, membre de l'Institut, ingénieur. Note(s) prises à son coursSciences. Papiers scientifiques. Pierre et Marie CurieContient : Tabouis, Geneviève Le Quesne, Mme Robert, journaliste. Lettre(s) ; Talbot, Hayden. Lettre(s) ; Tanaka, S., physicien. Lettre(s) ; Tanaka, S., physicien. Lettre(s) reçue(s) ; Tattegrain, André, conseiller municipal de Paris. Carte(s) ; Taylor, George F.. Lettre(s) ; Taylor & Francis, éditeurs du Philosophical Magazine. Lettre(s) ; Taylor & Francis, éditeurs du Philosophical Magazine. Lettre(s) reçue(s) ; Raýman, Bohuslaw, chimiste. Lettre(s) ; Tchécoslovaquie. Académie de l'Empereur François-Joseph.. Lettre(s) ; Tchécoslovaquie. Ministère des Travaux publics.. Lettre(s) ; Tchécoslovaquie. Ministère des Travaux publics.. Lettre(s) reçue(s) ; Tchécoslovaquie. Société royale des sciences et des lettres de Bohême.. Lettre(s) ; Tchécoslovaquie. Société royale des sciences et des lettres de Bohême.. Lettre(s) reçue(s) ; Tcheng, Cheng. Lettre(s) ; Tcheng, Cheng. Lettre(s) reçue(s) ; Teinturier, R.. Lettre(s) ; Teinturier, R.. Lettre(s) reçue(s) ; Teixier, Henri. Lettre(s) ; Teixier, Henri. Lettre(s) reçue(s) ; Temps (Le). Lettre(s) reçue(s) ; Terquem, Henri. Lettre(s) ; Terquem, Henri. Lettre(s) reçue(s) ; Holweck, Fernand, physicien. Lettre(s) reçue(s) ; Holweck, Fernand, physicien. Lettre(s) ; Thackara, A. M., consul général des États-Unis en France. Carte(s) ; Theile, Albert, journaliste. Lettre(s) ; Theillaumat, H., Mme G. Lettre(s) ; Theillaumat, H., Mme G. Lettre(s) reçue(s) ; Theml, Franz. Lettre(s) ; Thévenin, Docteur Charles. Lettre(s) ; Thewlis, Malford Wilcox. Lettre(s) ; Thézard, Paul. Lettre(s) ; Thézard, Paul. Lettre(s) reçue(s) ; Thèze, Marquis de. Lettre(s) ; Thèze, Marquis de. Lettre(s) reçue(s) ; Thibaud, Jean. Lettre(s) ; Thiébaut, Napoléon-Eugène-Émile, diplomate. Lettre(s) ; Thofehrn, Herbert. Lettre(s) reçue(s) ; Thomas, Charles C., journaliste. Lettre(s) ; Thomas, Charles C., journaliste. Lettre(s) reçue(s) ; Thompson, Robert H.. Lettre(s) ; Thompson, Robert H.. Lettre(s) reçue(s) ; Thomson, Sir Joseph John, physicien. Lettre(s) ; Thomson, Lady Joseph John. Carte(s) ; Thomson son and Laidlaw, tailleurs à Glasgow. Lettre(s) ; Cremer, M., de la compagnie Thomson Houston. Lettre(s) ; Thorpe, Jocelyn Field, chimiste. Lettre(s) ; Thorpe, Jocelyn Field, chimiste. Lettre(s) reçue(s) ; Thuillier-Landry, Docteur L.. Lettre(s) ; Thuillier-Landry, Docteur L.. Lettre(s) reçue(s) ; Thurneyssen, Mlle M.. Lettre(s) reçue(s) ; Tisdale, W. E.. Lettre(s) ; Tisdale, W. E.. Lettre(s) reçue(s) ; Titulesco, Nicolae, homme politique. Lettre(s) ; Tolkowsky, Marcel, ingénieur. Lettre(s) ; Tolkowsky, Marcel, ingénieur. Lettre(s) reçue(s) ; Tomarkin, L. W.. Lettre(s) ; Tomarkin, L. W.. Lettre(s) reçue(s) ; Trabacchi, G. C.. Lettre(s) ; Tracy, Docteur Martha. Lettre(s) ; Tracy, Docteur Martha. Lettre(s) reçue(s) ; Tran Mong Bach. Lettre(s) ; Tran Mong Bach. Lettre(s) reçue(s) ; Treillard, Odon, fabricant de pipes. Lettre(s) ; Treillard, Odon, fabricant de pipes. Lettre(s) reçue(s) ; Trillat, Jean-Jacques, membre de l'Institut. Lettre(s) reçue(s) ; Trimurti, N.. Lettre(s) ; Trow, Waldo Duane. Lettre(s) ; Trow, Waldo Duane. Lettre(s) reçue(s) ; Trowbridge, Augustus. Carte(s) ; Truillé (M. et Mme Jean). Lettre(s) ; Truillé (M. et Mme Jean). Lettre(s) reçue(s) ; Tsai, Y. B., recteur de l'université de Pékin. Carte(s) ; Tuffier, Professeur Théodore, de l'Académie de médecine. Lettre(s) ; Tuffier, Professeur Théodore, de l'Académie de médecine. Lettre(s) reçue(s) ; Tufts, James Hayden, président de l'université de Chicago. Lettre(s) ; Turauskas, Édouard, journaliste. Lettre(s) ; Turauskas, Édouard, journaliste. Lettre(s) reçue(s) ; Turner, Abby H.. Lettre(s) ; Turpain, Albert, physicien. Lettre(s) ; Tygodnik Illustrowany. Lettre(s) ; Tyson, Russell. Carte(s) ; Uhler, Mrs Horace Scudder. Carte(s) ; Barbier-Hugo, Mme L., vice-présidente de la Croix-Rouge française. Lettre(s) ; Union des Femmes de France. Lettre(s) ; Beauregard, Mme A., directrice de l'Union des femmes de France. Lettre(s) ; Chardayre, Mme B.. Lettre(s) ; Union des Femmes de France. Lettre(s) reçue(s) ; Chardayre, Mme B.. Lettre(s) reçue(s) ; Bachelet, Mme D., de la Croix-Rouge française. Lettre(s) ; Union Générale des Élèves Techniciens. Lettre(s) ; Union Générale des Élèves Techniciens. Lettre(s) reçue(s) ; Union Rationaliste. Document(s) la concernant ; Upmark, Eva. Lettre(s) ; Urbain, Georges, membre de l'Institut, physicien. Lettre(s) ; Urbain, Pierre. Lettre(s) ; Oldenbourg, Sergiei F.. Lettre(s) ; Oldenbourg, Sergiei F.. Lettre(s) reçue(s) ; Merrill, Docteur Théodore C.. Lettre(s) ; Merrill, Docteur Théodore C.. Lettre(s) reçue(s) ; Usines métallurgiques de la Basse-Loire. Lettre(s) ; Utagawa, Kin, journaliste. Lettre(s) ; Vaillant, Pierre, physicien. Lettre(s) ; Valbel, Roger. Lettre(s) reçue(s) ; Valbreuze, Robert de. Lettre(s) reçue(s) ; Merzbach, Alice Reitlinger, Mme Georges, pseud. Alice-George Vallières. Lettre(s) ; Merzbach, Alice Reitlinger, Mme Georges, pseud. Alice-George Vallières. Lettre(s) reçue(s) ; Valobra, Alfredo. Lettre(s) ; Valobra, Alfredo. Lettre(s) reçue(s) ; Valot, Docteur Guy. Lettre(s) ; Valot, Docteur Guy. Lettre(s) reçue(s) ; Vals, Vincent. Lettre(s) ; Vals, Vincent. Lettre(s) reçue(s) ; Van Aubel, Edmond. Carte(s) ; Van Dyke, Paul, historien. Lettre(s) ; Van Lint, Victor, ingénieur. Lettre(s) ; Van Lint, Victor, ingénieur. Lettre(s) reçue(s) ; Van Steenbrugghe, A., fabricant d'instruments de chirurgie. Lettre(s) ; Van Steenbrugghe, A., fabricant d'instruments de chirurgie. Lettre(s) reçue(s) ; Vantongerloo, Georges, sculpteur et peintre. Lettre(s) ; Vantongerloo, Georges, sculpteur et peintre. Lettre(s) reçue(s) ; Varona, Jerónimo Vecino. Lettre(s) ; Zawadzki, Jozef. Lettre(s) ; Lesniowski, Docteur Antoni. Lettre(s) ; Orlowski, Docteur Witold. Lettre(s) ; Kochanowski, Jan. Lettre(s) ; Kalinowski, recteur de l'université libre de Varsovie. Télégramme(s) ; Vendel, Docteur S. N.. Lettre(s) reçue(s) ; Venkataramaiah, Yechuri, physicien. Lettre(s) ; Venkayya, P., géologue. Lettre(s) ; Vernadsky, Wladimir, physicien. Lettre(s) ; Verneau, Docteur René. Lettre(s) ; Verone, Salvador. Lettre(s) ; Verone, Salvador. Lettre(s) reçue(s) ; Verschaffelt, Jules Émile. Lettre(s) ; Verschaffelt, Jules Émile. Lettre(s) reçue(s) ; Viborel, Lucien. Lettre(s) ; Vie (La) universitaire. Lettre(s) ; Vie (La) universitaire. Documents ; Viellard, L. Le Couteulx Du Molay, Mme Louis. Lettre(s) ; Viellard, L. Le Couteulx Du Molay, Mme Louis. Lettre(s) reçue(s) ; Vienne (Autriche). Uvachrom-Union.. Lettre(s) ; Vienne (Autriche). Uvachrom-Union.. Lettre(s) reçue(s) ; Viénot, Jacques. Lettre(s) ; Viénot, Jacques. Lettre(s) reçue(s) ; Viereck, George Sylvester. Lettre(s) ; Viereck, George Sylvester. Lettre(s) reçue(s) ; Vigouroux, Docteur Adrien. Lettre(s) ; Villat, Henri, membre de l'Institut. Lettre(s) ; Vilno (Lithuanie). Association des étudiants en chimie.. Lettre(s) ; Volterra, Vito, homme politique. Lettre(s) ; Vouillemin, Général Charles-Ernest. Carte(s)Numérisation effectuée à partir d'un document de substitution