Growth chemistry and electrical performance of ultrathin alumina formed by area selective vapor phase infiltration

The growth chemistry and electrical performance of 5 nm alumina films, fabricated via the area-selective vapor phase infiltration (VPI) of trimethylaluminum into poly(2-vinylpyridine), are compared to a conventional plasma enhanced atomic layer deposition (PEALD) process. The chemical properties are assessed via energy dispersive X-ray spectroscopy and hard X-ray photoelectron spectroscopy measurements, while current – voltage dielectric breakdown and capacitance – voltage analysis is undertaken to provide electrical information of these films for the first time. The success and challenges in dielectric formation via polymer VPI, the compatibility of pyridine in such a role, and the ability of the unique and rapid grafting-to polymer brush method in forming coherent metal oxides is evaluated. It was found that VPI made alumina fabricated at temperatures between 200 and 250 °C had a consistent breakdown electrical field, with the best performing devices possessing a к value of 5.9. The results indicate that the VPI approach allows for the creation of alumina films that display dielectric properties of a comparable quality to conventional PEALD grown films

Currículo Educación Secundaria Obligatoria y relaciones entre sus elementos

Se recoge el articulado del Decreto 43/2015, de 10 de junio, por el que se regula la ordenación y se establece el currículo de Educación Secundaria Obligatoria en el Principado de Asturias, publicado en el BOPA (Boletín Oficial del Principado de Asturias) el 30 de junio de 2015. La publicación incluye además la metodología didáctica, los contenidos, los criterios de valuación y estándares de aprendizaje evaluables de las distintas materias troncales, específicas y de aquéllas de libre configuración autonómica, y el total de sesiones lectivas de las distintas asignaturas de los ciclos educativos de la Educación Secundaria Obligatoria.ES

Currículo Bachillerato y relaciones entre sus elementos

Contiene el Decreto 42/2015, de 10 de junio, por el que se regula la ordenación y se establece el currículo del Bachillerato en el Principado de Asturias. Publicado en el BOPA (Boletín Oficial del Principado de Asturias) el 29 de junio de 2015. Incluye además, la metodología didáctica, los contenidos, los criterios de valuación y estándares de aprendizaje evaluables de las distintas materias troncales, específicas y de aquéllas de libre configuración autonómica, y el total de sesiones lectivas de las distintas asignaturas del Bachillerato.ES