2 research outputs found
Entwicklung von wirtschaftlichen Verfahren zur primaeren und sekundaeren Ionenimplantation Abschlussbericht
No full textSIGLEAvailable from TIB Hannover: FR 6964+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekDEGerman
Entwicklung einer ES-Verdampfungskanone zum Verdampfen von Materialien im Druckbereich 1-10 mbar zur Herstellung von nanokristallinem Pulver aus der Dampfphase Abschlussbericht
No full textTIB: D.Dt.F. AC 1000(37,56) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEDEGerman
