1 research outputs found
Π‘Π’Π Π£ΠΠ’Π£Π Π Π Π€ΠΠΠΠΠ«Π Π‘ΠΠ‘Π’ΠΠ ΠΠΠΠΠΠ‘ΠΠΠΠΠ«Π₯ Π ΠΠΠ’ΠΠΠΠΠΠ‘ΠΠΠ₯ ΠΠΠ ΠΠΠ W-Si
ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡΡΠ°ΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΈ Π² ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ (l~0,154 Π½ΠΌ) ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½Π° ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°, ΡΠΎΡΡΠ°Π² ΠΈ ΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ
ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΡ
Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π» (ΠΠ Π) W/Si Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠ° tW2,7 Π½ΠΌ ΡΠ»ΠΎΠΈ Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠ° ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ (ΠΠ¦Π) ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ, Π° ΠΏΡΠΈ tW<1,9 Π½ΠΌ ΠΎΠ½ΠΈ Π°ΠΌΠΎΡΡΠ½Ρ. ΠΡΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΠΈ sin2Y-ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ Π² ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ
ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΡΠ»ΠΎΡΡ
Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠ° (tW<10 Π½ΠΌ) ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΡΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 3 Π°Ρ.% Si. Π Π°ΡΡΡΠ³ΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ»ΠΎΡΡ
ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠ° Π½Π΅ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°ΡΡ 1,1 ΠΠΠ°. ΠΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΉ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΎ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ Π°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠ° ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ², Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ΅ ΠΊ b-W. ΠΠΎ Π²ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°Ρ
Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π½Π° ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ°Π·Π½ΡΡ
Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ°Ρ
Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ
ΠΏΡΠΎΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΊ, Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠ° ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ Π½ΠΎΠΌΠΈΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ. ΠΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠΊΠΈ, ΠΎΠ±ΡΠ·Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΡΡΠΈΠ΅ΡΡ Π½Π° ΡΡΠ°Π΄ΠΈΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΠ Π, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Ρ Π΄ΠΈΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄ Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠ°. Π Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΈΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ², Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ΅ Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΊ ΡΠ΅ΡΡΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Π΅, t-WSi2 (~0,6 Π½ΠΌ/Ρ.), Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΊ Π³Π΅ΠΊΡΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Π΅, h-WSi2 (~0,15 Π½ΠΌ/Ρ.). ΠΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π° ΡΡΠΎΡΠ½Π΅Π½Π½Π°Ρ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Ρ ΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ Π°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΡ
ΠΠ Π W/Si. ΠΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Ρ ΠΌΠ΅Ρ
Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΡ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ
ΠΏΡΠΎΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΊ, ΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΠ½ΠΎ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΌ Π½ΠΈΠΆΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠΊΠΈ (W-Π½Π°-Si) ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΡΡΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ Π±Π°Π»Π»ΠΈΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠ° ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π° Π²Π΅ΡΡ
Π½ΠΈΠ΅ β Π²ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ. Π‘Π΄Π΅Π»Π°Π½Π° ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠ° ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°Π΅ΠΌΠ°Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠ°Π·ΠΎΠ³ΡΠ΅ΡΠ°, ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ΅, Π½Π° 250Β° Π²ΡΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ. ΠΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΡΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ