3 research outputs found
Plasma etching: Yesterday, today, and tomorrow
- Author
- Auciello O.
- Auth C.
- Avinoam Kornblit
- Bersin R. L.
- Bogart K. H. A.
- Bravenec R.
- Cameron G.
- Castellano R. N.
- Chapman B.
- Chen L.
- Chen Y.
- Ciampa N. A.
- Cui H.
- Ditizio R.
- Egitto F. D.
- El-Kareh B.
- Gaddis J. L.
- Garrou P.
- Glang R.
- Gottscho R. A.
- Halle S.
- Harshbarger W. R.
- Herb G. K.
- Herman I. P.
- Hoofman R.
- Hosokawa N.
- Irving S. M.
- Irving S. M.
- Ji B.
- Jones P. L.
- Joubert O.
- Kanarik K. J.
- Kawamura S.
- Kil D.-S.
- Klemens F. P.
- Kornblit A.
- Kornblit A.
- Labelle C. B.
- Lai W. T.
- Layadi N.
- Lee J. T. C.
- Limpaechert R.
- Mack Chris
- Maher J.
- Manos D. M.
- Mebarki B.
- Medeiros D.
- Mendez H.
- Metalwork
- Murarka S. P.
- Niwa M.
- Pardo F.
- Popov O. A.
- Roland J. P.
- Schwierz F.
- Sha L.
- Siddiqi M. A.
- Thomas D.
- Tolliver D. L.
- Vincent M. Donnelly
- Vitkavage D. J.
- Vyvoda M. A.
- Werbaneth P.
- Yan W. H.
- Zhao J.
- Publication venue
- 'American Vacuum Society'
- Publication date
- Field of study
No full text
