Betriebliche Rahmenbedingungen fuer eine erfolgreiche Implementierung neuer Produktionsstrukturen - RAMONA Schlussbericht

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DtF QN1(77,44) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman

Messgeraete und Ventile mit keramischen Funktionsteilen: Auswahl, Auslegung und Erprobung der Bauteile Abschlussbericht

Available from TIB Hannover: F97B80+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEBundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)DEGerman

Mikrosystembausteine fuer Hochtemperaturanwendungen. Verbundprojekt 1992-1995 Abschlussbericht

Current microsystems as a rule are limited in their operating temperature to a maximum of 125 C. In order to increase this maximum, a coordinated research project was to perform in-depth research into the feasibility of modifying the conventional semiconductor materials silicon and gallium arsenide for the purpose of using them in microsystems with operating temperatures ranging from 250 C to 350 C. Also, the applicability of technologies for substrate and materials preparation and bonding for high-temperature applications were examined and models of microsystems were developed taking into account high-temperature effects. Demonstrators were developed to show tand explain the results obtained. (orig./MM)Die zur Zeit gebraeuchlichen Mikrosysteme sind in ihrem Betriebstemperaturbereich im Normabfall auf eine obere Temperaturgrenze von 125 C begrenzt. Um hier Fortschritte zu erreichen, wurden in dem Verbundprojekt intensive Entwicklungsarbeiten mit dem Ziel durchgefuehrt, die klassischen Halbleitermaterialien Silizium und Gallium-Arsenid fuer Mikrosysteme, die bis zu Temperaturen von 250 C bzw. 350 C funktionsfaehig bleiben, einsetzbar zu machen. Desgleichen wurde die Eignung von Technologien der Aufbau- und Verbindungstechnik fuer den Hochtemperaturbereich untersucht, und es wurden Modelle fuer Mikrosysteme unter Beruecksichtigung des Einflusses hoher Temperaturen entwickelt. Die gewonnenen Erkenntnisse wurden anhand von Demonstratoren beispielhaft nachgewiesen. (orig./MM)SIGLEAvailable from TIB Hannover: RO 3532(44) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman