Влияние давления рабочего газа на компонентный состав и свойства тонких пленок титаната бария-стронция

Influence of deposition pressure on the properties of ferroelectric barium strontium titanate thin films obtained by RF magnetron sputtering has been investigated. It has been shown that the deposition pressure affects the component composition of the films as the spatial zone of atomic particle thermalization changes significantly. Influence of deposition pressure on growth rate and, hence, on film thickness has been studied.Исследовано влияние давления рабочего газа и тока разряда в процессе ионно-плазменного распыления на параметры осаждаемых сегнетоэлектрических покрытий титаната бария-стронция. Поскольку давление рабочего газа влияет на длину термализации распыленных атомов, его изменение в процессе осаждения позволяет менять компонентный состав осаждаемой пленки. Изменение тока разряда приводит к изменению скорости роста пленки

Структура и свойства тонких пленок титаната-цирконата бария и титаната-станната бария для сверхвысокочастотных применений

Structural and radio frequency (RF) dielectric properties of thin films of ferroelectric solid solutions BaZrxTi1-xO3 and BaSnxTi1-xO3 obtained by RF magnetron sputtering of ceramic targets on Pt/ r-cut of Al2O3 sapphire substrate are investigated. A high tunability of thin layers and low values of dielectric loss acceptable for microwave application have been revealed.Исследованы структурные и высокочастотные диэлектрические свойства тонких пленок сегнетоэлектрических твердых растворов и выращенных методом высокочастотного магнетронного распыления керамических мишеней на подложке Выявлена высокая управляемость диэлектрической проницаемости тонких слоев под действием приложенного электрического поля при приемлемых для сверхвысокочастотных применений диэлектрических потерях

Influence of Deposition Pressure on Component Composition and Properties of Barium Strontium Titanate Thin Films

Influence of deposition pressure on the properties of ferroelectric barium strontium titanate thin films obtained by RF magnetron sputtering has been investigated. It has been shown that the deposition pressure affects the component composition of the films as the spatial zone of atomic particle thermalization changes significantly. Influence of deposition pressure on growth rate and, hence, on film thickness has been studied

The Crystal Structure and Properties of Barium Zirconate Titanate and Barium Stannate Titanate Thin Films for Microwave Applications

Structural and radio frequency (RF) dielectric properties of thin films of ferroelectric solid solutions BaZrxTi1-xO3 and BaSnxTi1-xO3 obtained by RF magnetron sputtering of ceramic targets on Pt/ r-cut of Al2O3 sapphire substrate are investigated. A high tunability of thin layers and low values of dielectric loss acceptable for microwave application have been revealed