Verbundprojekt zur Entwicklung der Technologie monolithisch integrierter Beschleunigungssensoren auf der Basis von Siliziummikromechanik Abschlussbericht

Available from TIB Hannover: F94B0078+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEBundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)DEGerman