CORE
🇺🇦Â
 make metadata, not war
Services
Services overview
Explore all CORE services
Access to raw data
API
Dataset
FastSync
Content discovery
Recommender
Discovery
OAI identifiers
OAI Resolver
Managing content
Dashboard
Bespoke contracts
Consultancy services
Support us
Support us
Membership
Sponsorship
Community governance
Advisory Board
Board of supporters
Research network
About
About us
Our mission
Team
Blog
FAQs
Contact us
Filters
25 research outputs found
In Situ Reaction Mechanism Studies on Lithium Hexadimethyldisilazide and Ozone Atomic Layer Deposition Process for Lithium Silicate
Author
Aaltonen T.
Ben Saad K.
+39Â more
Cavanagh A. S.
Chaukulkar R. P.
Cheng H.
Devarajan V.
Devloo-Casier K.
Fjeldberg T.
Furusawa S.
Furusawa S.
Goldstein D. N.
Hauchecorne B.
Haukka S.
Hämäläinen J.
Jung Y. S.
Kjell Knapas
Knapas K.
Knapas K.
Knapas K.
Knapas K.
Langereis E.
Lee S. Y.
Leskelä M.
Li K.
Markku Leskelä
Markku Sundberg
Matero R.
Matero R.
Matero R.
Mikko Ritala
Ostreng E.
Putkonen M.
Rahtu A.
Rahtu A.
Ritala M.
Rose M.
Seghete D.
Van Bui H.
Yoann Tomczak
Zhang B.
Zhernokletov D. M.
Publication venue
'American Chemical Society (ACS)'
Publication date
Field of study
No full text
Crossref
In Situ Reaction Mechanism Studies on Atomic Layer Deposition of Al x
Author
Blomberg T.
Burton B. B.
+47Â more
Cheon T.
Chowdhuri A. R.
Chowdhuri A. R.
Dai M.
Delabie A.
Dingemans G.
Du Y.
Du Y.
Fedorenko Y.
Ferguson J. D.
Frank M. M.
Halls M. D.
Hirose F.
Hämäläinen J.
Kjell Knapas
Klaus J. W.
Klaus J. W.
Knapas K.
Knapas K.
Kukli K.
Kwon J.
Lee W.
Leskelä M.
Marcel Ceccato
Marianna Kemell
Markku Leskelä
Matero R.
Matero R.
Matero R.
Mikko Heikkilä
Mikko Ritala
Murata K.
Nam W.
Niinistö J.
Park J.
Philip A.
Rahtu A.
Rahtu A.
Rahtu A.
Rahtu A.
Rai V. R.
Ritala M.
Suvi Haukka
Tamura H.
Waldo R. A.
Won S.
Yoann Tomczak
Publication venue
'American Chemical Society (ACS)'
Publication date
Field of study
No full text
Crossref
In Situ Reaction Mechanism Studies on Ozone-Based Atomic Layer Deposition of Al 2
Author
Cho H. J.
Cho H. J.
+17Â more
Duenas S.
Elam J. W.
Goldstein D. N.
Granneman E.
Heil S.
Henn-Lecordier L.
Kim M.-S.
Kim S. K.
Kirsch P. D.
Knapas K.
Kosola A.
Liu X.
Loo J. P.
Matero R.
Niinistö J.
Rahtu A.
Rose M.
Publication venue
'American Chemical Society (ACS)'
Publication date
Field of study
No full text
Crossref
The Surface Chemistry of Atomic Layer Depositions of Solid Thin Films
Author
Aaltonen T.
Bell D. A.
+59Â more
Black J. G.
Bouman M.
Bouman M.
Christensen S. T.
Dai M.
Dobkin D.
Elam J. W.
Elam J. W.
Elam J. W.
Fabreguette F. H.
Francisco Zaera
George S. M.
Goldstein D. N.
Grubbs R. K.
Haukka S.
Kan B.-C.
Kelly M. J.
Kessels W. M. M.
Kim T.
Klaus J. W.
Knapas K.
Knapas K.
Kumar N.
Kwon J.
Kwon J.
Leskelä M.
Libera J. A.
Lim B. S.
Lim B. S.
Ma Q.
Ma Q.
Ma Q.
Ma Z.
Matero R.
Matero R.
Mitchell D. R. G.
Ohshita Y.
Profijt H. B.
Putkonen M.
Puurunen R. L.
Qin X.
RodrĂguez-Reyes J. C. F.
RodrĂguez-Reyes J. C. F.
Rose M.
Schaeffer J.
Seghete D.
Somorjai G. A.
Somorjai G. A.
Sperling B. A.
Sun H.
Tiznado H.
Tiznado H.
Wilson J.
Wind R. W.
Xu M.
Zaera F.
Zaera F.
Zaera F.
Zaera F.
Publication venue
'American Chemical Society (ACS)'
Publication date
Field of study
No full text
Crossref
Atomic Layer Deposition, Characterization, and Growth Mechanistic Studies of TiO 2
Author
Aarik J.
Aarik J.
+55Â more
Aarik J.
Blanquart T.
Chen X.
Cho M.
Christian Dussarrat
Ding X.-Z.
Esa Puukilainen
Fox M. A.
Fujishima A.
George S. M.
Goldstein D. N.
Gougousi T.
Groner M. D.
Hanaor D. A. H.
Hatanpää T.
Heinz D. Wanzenböck
Jaakko Niinistö
Kadoshima M.
Katamreddy R.
Khan S. U. M.
Kim S. K.
Kim S. K.
Kim S. K.
Kim S. K.
Knapas K.
Knapas K.
Lee S. W.
Linsebigler A. L.
Ma Q.
Marco Gavagnin
Markku Leskelä
Martinson A. B. F.
Miikkulainen V.
Mikko Kaipio
Mikko Ritala
Nieminen M.
Park T. J.
Pheamhom R.
Potts S. E.
Puurunen R. L.
Rahtu A.
Ritala M.
Ritala M.
Rose M.
Scarel G.
Timothee Blanquart
Tomczak Y.
Valentino Longo
Venkateswara R. Pallem
Vilhunen S.
Weinreich W.
Wilk G. D.
Xie Q.
Ylilammi M.
Yoann Tomczak
Publication venue
'American Chemical Society (ACS)'
Publication date
Field of study
No full text
Crossref
Influence of the Kinetic Adsorption Process on the Atomic Layer Deposition Process of (GeTe 2
Author
Brunauer S.
Byung Joon Choi
+23Â more
Cheol Seong Hwang
Choi B. J.
Choi B. J.
Choi B. J.
Christmann K.
Eom T.
Gorte R.
Iain Buchanan
Kim Y.-T.
Knapas K.
Langmuir I.
Manchao Xiao
Moo-Sung Kim
Pellizzer F.
Pore V.
Ranke W.
Ritala M.
Sarnet T.
Sijung Yoo
Suntola T.
Taehong Gwon
Taeyong Eom
Yamada N.
Publication venue
'American Chemical Society (ACS)'
Publication date
Field of study
No full text
Crossref
Atomic Layer Deposition of Titanium Dioxide Thin Films from Cp*Ti(OMe) 3
Author
Aarik J.
Blasco N.
+30Â more
Diebold U.
Elam J. W.
Elam J. W.
Elam J. W.
Elam J. W.
Goldstein D. N.
Henn-Lecordier L.
Ingolf Endler
Jaakko Niinistö
Johann W. Bartha
Katamreddy R.
Kim S. K.
Kim S. K.
Knapas K.
Leskelä M.
Liu X.
Lukas Gerlich
Lutz Wilde
Martin Rose
Matero R.
Menou N.
Niinistö J.
Niinistö J.
Pawel Michalowski
Pore V.
Rahtu A.
Rahtu A.
Ritala M.
Vehkamäki M.
Williams P.
Publication venue
'American Chemical Society (ACS)'
Publication date
Field of study
No full text
Crossref
Conformal Formation of (GeTe 2
Author
Burr G. W.
Byung Joon Choi
+28Â more
Cheol Seong Hwang
Choi B. J.
Choi B. J.
Choi B. J.
Deok-Yong Cho
Fukumoto H.
Iain Buchanan
Kim R.-Y.
Kim S. K.
Kim Y.-T.
Knapas K.
Lankhorst M. H. R.
Lencer D.
Leskela M.
Li Y.
Longo M.
Manchao Xiao
Min Hwan Lee
Moo-Sung Kim
Ovshinsky S. R.
Pore V.
Ritala M.
Sang Ho Rha
Seol Choi
Suntola T.
Taehong Gwon
Taeyong Eom
Woongkyu Lee
Publication venue
'American Chemical Society (ACS)'
Publication date
Field of study
No full text
Crossref
Modulation of the Growth Per Cycle in Atomic Layer Deposition Using Reversible Surface Functionalization
Author
Aaltonen T.
Aarik J.
+42Â more
Angel Yanguas-Gil
Barteau M. A.
Busca G.
Cho M. J.
Dillon A. C.
Elam J. W.
Elam J. W.
Elam J. W.
Evans H. E.
Evans H. E.
Feng H.
George S. M.
Golay S.
Goldstein D. N.
Grady A. S.
Henrich V. E.
Jeffrey W. Elam
Joseph A. Libera
Knapas K.
Knozinger H.
Kumar N.
Kvisle S.
Lee D. J.
Libera J. A.
Ma Z.
Nyquist R. A.
Paivasaari J.
Pore V.
Potts S. E.
Puurunen R. L.
Puurunen R. L.
Rai V. R.
Ritala M.
Ritala M.
Rogers J. H.
Shi B. C.
Soto C.
Van T. T.
Van T. T.
Yanguas-Gil A.
Yanguas-Gil A.
Zaera F.
Publication venue
'American Chemical Society (ACS)'
Publication date
Field of study
No full text
Crossref
Quantitative Surface Coverage Calculations via Solid-State NMR for Thin Film Depositions: A Case Study for Silica and a Gallium Amidinate
Author
Bedair S. M.
Bernal Ramos K.
+43Â more
Bhargava R. N.
Choi D.
Coles M. P.
Coyle J. P.
Coyle J. P.
Elers K.-E.
Elliott S. D.
Fleischer M.
Gong B.
Gong J. R.
Harwig T.
Haukka S.
Haukka S.
Hoffman D. M.
Kenney A. P.
Knapas K.
Kobayashi R.
Kunte G. V.
Langereis E.
Lee H.
Ma Q.
Maciel G. E.
Maruska H. P.
Massiot D.
Miikkulainen V.
Mochizuki Y.
Murray C.
Nieminen M.
Nishizawa J.
Penner S. S.
Peter J. Pallister
Puurunen R. L.
Seán T. Barry
Sindorf D. W.
Sindorf D. W.
Sindorf D. W.
Sumakeris J.
Sydney C. Buttera
Tippins H.
Valet M.
Wang H. Y.
Wasslen Y. A.
Zaera F.
Publication venue
'American Chemical Society (ACS)'
Publication date
Field of study
No full text
Crossref
1
2
3