Standardisierungslösungen für ein modulares Fertigungssystem in der Mikrotechnik

Die Mikrotechnik ist eine Schlüsseltechnologie mit sehr großem Innovationspotential. Da derzeit noch große Defizite bei der Gerätetechnik bestehen, wurde im Rahmen des industriellen BMBF-Verbundprojekts PROZESS 2000 ein modulares Fertigungssystem für die Mikrotechnik entwickelt und realisiert. Standardisierungslösungen für die Hardware- und Softwareschnittstellen eines solchen Systems bilden die Grundlage zukünftiger Forschungs- und Entwicklungsarbeiten für die Produktion von Komponenten und Systemen in der Mikrotechnik