9 research outputs found
A complete dry etching process for MOS FET's with submicron gate length
- Publication venue
- 'EDP Sciences'
- Publication date
- 01/01/1982
- Field of study
An anisotropic dry etching process for submicrometer silicon gate N channel MOS technology has been developed. Reactive ion etching was used for Si 3N4, polysilicon and phosphosilicate glass (PSG). Aluminum was plasma etched. The process includes tapered etching of contact holes in PSG and planarization of PSG to improve step coverage of metallization and to facilitate aluminum etching. MOS devices with gate length as small as 0.6 μm have been successfully fabricated with this process.Un procédé de gravure sèche a été mis au point pour la fabrication de transistors MOS submicroniques en technologie canal N grille silicium. La gravure ionique réactive a été utilisée pour graver le Si3N4, le silicium polycristallin et le SiO 2 déposé dopé au phosphore (PSG). L'aluminium a été gravé par plasma. Le procédé foumit une gravure en pente des trous de contact dans le PSG et une surface aplanie du PSG, ceci pour améliorer la couverture aux marches de la métallisation et pour faciliter la gravure de l'aluminium. Des transistors MOS ayant des longueurs de grilles de 0,6 μm ont été fabriqués avec succès selon ce procédé
Excited Nuclear States for Th-233 (Thorium)
- Publication venue
- 'Springer Science and Business Media LLC'
- Publication date
- 01/01/2013
- Field of study
Principles for an optimal demagnetization and application to the high-resolution beta spectrometer “BILL”
- Publication venue
- 'Elsevier BV'
- Publication date
- Field of study
High precision measurements of some gamma transitions in 227Ac 228Th 231Pa 232U 233Pa 239Np 239Pu and 245Am
- Publication venue
- 'Elsevier BV'
- Publication date
- 01/01/1979
- Field of study
Systematics of vibrational bands in odd-neutron actinide nuclei
- Author
- Publication venue
- 'Elsevier BV'
- Publication date
- 01/01/1979
- Field of study
Systematics of vibrational bands in odd-neutron actinide nuclei
- Author
- Publication venue
- 'Elsevier BV'
- Publication date
- 01/01/1979
- Field of study
A new iron-core magnet beta spectrometer with Δp/p=8×10−5
- Author
- Publication venue
- 'Elsevier BV'
- Publication date
- Field of study
Compositae
- Author
- A Aebi
- A Berk
- A Bruni
- A Klages
- A Moenikes
- A Paul
- A Stoll
- A Wicke
- A Winterstein
- A Zinke
- AB Clawson
- AR Alertsen
- B Frydman
- B Hellstrom
- B Janiak
- BA Parker
- BW Crooker
- C Charaux
- C Gerber
- C Griebel
- C Lesaint
- C Rimington
- C Rimington
- C Wehmer
- C Wisselingh
- CCJ Culvenor
- CCJ Culvenor
- CG Polhamus
- CH Muller
- CJ Cavallito
- CS Barnes
- CW Pennington
- DG Steyn
- DHS Horn
- DHS Horn
- E Dorado
- E Guddal
- E Guddal
- E Jolivet
- E Nunez-Melendez
- E Penunuri
- E Stahl
- E Stahl
- E Stahl
- E Steinegger
- E Tarpo
- E Tyihak
- E Tyihak
- E Vis
- EC Bate-Smith
- EH Farr
- EL Woods
- EO Lippmann
- ER Kobert
- F Bischoff
- F Bohlmann
- F Bohlmann
- F Bohlmann
- F Dolder
- F Gizycki
- F Korte
- F Netolitzky
- F Santavy
- F Sorm
- F Sorm
- F Sorm
- F. R. Earle
- FB Power
- FB Power
- FB Power
- FL Warren
- FM Miller
- FT Hanausek
- FW Heyl
- G Krotkov
- G Modica
- G Moen Tronvold
- G Singh
- GA Borgstrom
- GB Marini-Bettolo
- GH Kulkarni
- H Abu-Shady
- H Bode
- H Borsutzki
- H Colin
- H Flowers
- H Gattiker
- H Krämer
- H Muller
- H Schindler
- H Shimada
- H Trimble
- H Wagner
- H Wagner
- H-B Schroter
- IR Fahmy
- J Bonner
- J Gedeon
- J Hochmannova
- J Hutchinson
- J Jeuch
- J Krepinsky
- J Politis
- J Politis
- J Politis
- J Politis
- J Sechet
- J Vrkoc
- J Vrkoc
- J Vrkoc
- J. A. Steyermark
- J. S. Walt
- JA Goodson
- JA Goodson
- JI Graw
- JI Graw
- JO Sauter
- JS Mckenzie
- JS Rowe
- JSC Marais
- K Gorter
- K Holzer
- K Miwa
- K Olechowska-Baranska
- K Stavholt
- K Tsuda
- K Venkateswara Rao
- K Yoshimura
- KC Guven
- KE Schulte
- KE Schulte
- KK Baslas
- KS Rybalko
- KW Merz
- KW Taylor
- L Crombie
- L Dolejs
- L Dolejs
- L Dolejs
- L Fuchs
- L Girlic
- L Guignard
- L Horhammer
- L Kofler
- L Novotny
- L Novotny
- L Novotny
- L Panizzi
- LA Porter
- LH Zalkow
- M Greshoff
- M Greshoff
- M Haag-Berrurier
- M Kotake
- M Mirande
- M Passerini
- M Ruddat
- M Shimokoriyama
- M Shimokoriyama
- M Shimokoriyama
- M Soucek
- M Suchy
- M Sumi
- M Vilkas
- MK Seikel
- ML Sharma
- MM Chopra
- MM Oliveira
- N Chakravarti
- N Lang
- N Löfgren
- N Morita
- N Morita
- N. R. Bannerjee
- NK Basu
- NR Kuzel
- O Werner
- OE Edwards
- OE Edwards
- P Casparis
- P Casparis
- P Siedler
- P Teteny
- P Tunmann
- PD Gardener
- PN Arata
- PV Vignais
- R Adams
- R Hansel
- R Hansel
- R Salgues
- R Salgues
- R Schontal
- R Stevenson
- R Urban
- R Wright
- RB Bates
- RC Badami
- RC Buwell
- RE Corbett
- S Hattori
- S Knutter
- S Siddiqui
- S. C. Jensen
- SK Talapatra
- SN Dhingra
- SN Pal
- SS Nigam
- T Anyos
- T Bruun
- T Fukui
- T Kariyone
- T Kawatani
- T Kurihara
- T Kuroda
- T Nakaoki
- T Nakaoki
- TA Geissman
- TA Geissman
- TA Geissman
- TF Buehrer
- TR Seshadri
- TR Seshadri
- U Weber
- UG Nayak
- V Benesova
- V Benesova
- V Benesova
- V Herout
- V Herout
- V Kosova
- V Plouvier
- V Prochazka
- Vishwa Prakash Arya
- W Herz
- W Herz
- W Herz
- W Herz
- W Lang
- W Peyer
- WG Dauben
- WH Duncan
- WL Ellison
- WZ Chow
- Y Asahina
- Y.-R. Naves
- Z Cekan
- Publication venue
- 'Springer Science and Business Media LLC'
- Publication date
- 01/01/1964
- Field of study
Intrinsic states of deformed odd- A
- Author
- Abdurazakov A. A.
- Abdurazakov A. A.
- Abdurazakov A. A.
- Abdurazakov A. A.
- Abdurazakov A. A.
- Ackerman B.
- Adam I.
- Adam I.
- Adam I.
- Ader B. L.
- Agnihotry A. P.
- Aguer P.
- Aguer P.
- Ahlgren K.
- Ahmad I.
- Ahmad I.
- Ahmad I.
- Ahmad I.
- Ahmad I.
- Ahmad I.
- Ahmad I.
- Ahmad I.
- Ahmad I.
- Ahmad I.
- Ahmad I.
- Ahmad I.
- Ahmad I.
- Ahmad I.
- Ahmad S. A.
- Ahmad S. A.
- Ahmad S. A.
- Akhamadzhanov A. I.
- Albridge R.G.
- Alenius G.
- Alenius G.
- Alenius G.
- Alenius G.
- Alikov B. A.
- Alikov B. A.
- Alikov B. A.
- Alikov B. A.
- Almeida J.
- Alonso J.
- Andersen E.
- Andrejtscheff W.
- Andrejtscheff W.
- André S.
- André S.
- André S.
- André S.
- André S.
- Anicin I.
- Ansari A.
- Aoki T.
- Arima A.
- Arl't R.
- Artamonova K. P.
- Artamonova K. P.
- Asaro F.
- Ascuitto R. J.
- Avignone F. T., III
- Bacelar J. C.
- Bacelar J. C.
- Bacelar J. C.
- Badica T.
- Balaheav V. A.
- Baranov S. A.
- Baranov S. A.
- Baranov S. A.
- Baranov S. A.
- Baranov S. A.
- Barat J. L.
- Bardeen J.
- Barnard E.
- Barneoud D.
- Barneoud D.
- Barneoud D.
- Barneoud D.
- Barneoud D.
- Barneoud D.
- Batsev S.
- Batsev S.
- Behar M.
- Belyaev S. T.
- Bemis C. E., Jr.
- Bemis C. E., Jr.
- Bemis C. E., Jr.
- Bengtsson R.
- Bengtsson R.
- Bengtsson R.
- Bengtsson R.
- Bengtsson R.
- Bengtsson R.
- Bennett M. J.
- Bennett M. J.
- Benson D., Jr.
- Benson D., Jr.
- Benson D., Jr.
- Berg V.
- Berg V.
- Berlovich E. E.
- Berlovich E. Ye.
- Bernstein E. M.
- Bernthal F.
- Bernthal F. M.
- Bernthal F. M.
- Bes D. R.
- Beuscher H.
- Beuscher H.
- Bianco G. L.
- Bijeker R.
- Bisgård K. M.
- Bisgård K. M.
- Blichert-Toft P. H.
- Blinowska K. J.
- Bohr A.
- Bohr A.
- Bohr A.
- Boisson J. P.
- Bollinger L. M.
- Bollinger L. M.
- Bolsterli M.
- Bonch-Osmolovskaya N. A.
- Bond P. D.
- Bondarenko V. A.
- Boneva S. T.
- Bonitz M.
- Borchers W.
- Borggreen J.
- Borggreen J.
- Boutet J.
- Boutet J.
- Boutet J.
- Boyno J. S.
- Boyno J. S.
- Brack M.
- Braid T. H.
- Braid T. H.
- Braid T. H.
- Braid T. H.
- Brenner D. S.
- Brenner D. S.
- Brenner D. S.
- Brix P.
- Broad A. S.
- Brown P. F.
- Brown R. A.
- Brown R. A.
- Browne E.
- Browne E.
- Browne E.
- Budzyak A.
- Bunker M. E.
- Bunker M. E.
- Burke D. G.
- Burke D. G.
- Burke D. G.
- Burke D. G.
- Burke D. G.
- Burke D. G.
- Burke D. G.
- Burke D. G.
- Burke D. G.
- Burke D. G.
- Burrows T.
- Bäcklin A.
- Börner H. G.
- Börner H. G.
- Börner H. G.
- Casten R. F.
- Casten R. F.
- Casten R. F.
- Casten R. F.
- Casten R. F.
- Casten R. F.
- Casten R. F.
- Chapman R.
- Chasman R. R.
- Chasman R. R.
- Chasman R. R.
- Chetham-Strode A., Jr.
- Cheung H. C.
- Chi B. E.
- Chrien R. E.
- Chu Y. Y.
- Chu Y. Y.
- Cline J. R.
- Coc A.
- Coc A.
- Cook W. B.
- Cook W. B.
- Cook W. B.
- Cottle P. D.
- Cwiok S.
- Cwiok S.
- Dahlinger M.
- Dahlinger M.
- Daly P. J.
- Daniels W. R.
- Davaa S.
- Davidson J. P.
- Davies D. W.
- de Bettencourt J.
- Deleplanque M. A.
- Devous M. D., Sir.
- Devous M. D., Sr.
- Dittner P. F.
- Dorschel K.
- Dracoulis G. D.
- Dracoulis G. D.
- Dracoulis G. D.
- Dracoulis G. D.
- Dracoulis G. D.
- Dracoulis G. D.
- Drissi S.
- Dzhelepov B. S.
- Dzhelepov B. S.
- Eder R.
- Ekström C.
- Ekström C.
- Ekström C.
- El-Lawindy A. M. Y.
- Elliot J. P.
- Ellis Y. A.
- Ellis Y. A.
- Ellis Y. A.
- Ellis-Akovali Y. A.
- Ellis-Akovali Y. A.
- Ellis-Akovali Y. A.
- Ellis-Akovali Y. A.
- Ellis-Akovali Y. A.
- Ellis-Akovali Y. A.
- Elze Th. W.
- Elze Th. W.
- Elze Th. W.
- Elze Th. W.
- Elze Th. W.
- Elze Th. W.
- Engeland T.
- Engelkemeir D.
- Erskine J. R.
- Erskine J. R.
- Erskine J. R.
- Eskola P.
- Evans M.
- Ewans G. T.
- Faessler A.
- Fahlander C.
- Fallon P.
- Felsteiner J.
- Fenzl M.
- Fields P. R.
- Fields P. R.
- Firestone R. B.
- Firestone R. B.
- Firestone R. B.
- Flynn E. R.
- Foin C.
- Foin C.
- Foin C.
- Foin C.
- Foin C.
- Foin C.
- Foin C.
- Forsblom I.
- Friedman A. M.
- Friedman A. M.
- Funk E. G.
- Funke L.
- Funke L.
- Funke L.
- Funke L.
- Förster I.
- Gadzhokov V.
- Gareev F. A.
- Garg J. B.
- Garrett J. D.
- Gasser M.
- Geiger J. S.
- Geiger J. S.
- Geinoz D.
- Gelletly W.
- Gerstenkorn S.
- Gizon J.
- Gnatovich V.
- Gnatovich V.
- Gnatovich V.
- Goles R. W.
- Goles R. W.
- Gonzalez L.
- Gopinathan K. P.
- Gorman D. J.
- Goudsmit P. F. A.
- Graham R. L.
- Greenwood R.
- Greenwood R. C.
- Gregory P. R.
- Griffioen R. D.
- Grigorev V. N.
- Grodzins L.
- Groshev L. V.
- Grosse E.
- Grosse E.
- Grotdal T.
- Grotdal T.
- Grotdal T.
- Grotdal T.
- Gustafson C.
- Guttormsen M.
- Gyurkovich A.
- Haas B.
- Hackett E. D.
- Hagemann G. B.
- Hagemann G. B.
- Hamamoto I.
- Hammarén E.
- Hardt K.
- Harmatz B.
- Harmatz B.
- Harmatz B.
- Harmatz B.
- Harmatz B.
- Haustein P. E.
- Hedin G.
- Helmer R. G.
- Helmer R. G.
- Helmer R. G.
- Hershberger R. L.
- Hild T.
- Hill J. C.
- Hirning C. R.
- Hirning C. R.
- Hjørth S. A.
- Hjørth S. A.
- Hoekstra W.
- Hoff R. W.
- Hoff R. W.
- Hoff R. W.
- Hoff R. W.
- Hoff R. W.
- Hoffman D. C.
- Hofstetter K. J.
- Holan P.
- Holzmann R.
- Holzmann R.
- Hopke P. K.
- Hornshöj P.
- Hultberg S.
- Hübel H.
- Hübel H.
- Iachello F.
- Iachello F.
- Iimura H.
- Immele J. D.
- Immele J. D.
- Inamura T.
- Indira P. A.
- Ionescu V. A.
- Irvine J. M.
- Ishii T.
- Islam M. A.
- Jacobs E.
- Jager H. M.
- Jain A. K.
- Jain A. K.
- Janzen V. P.
- Jeltema B., D.
- Jeuch P.
- Jha S.
- Johansen K. H.
- Johnson M. W.
- Jäger U.
- Kaffrell N.
- Kaffrell N.
- Kanestrom I.
- Katajanheimo R.
- Katajanheimo R.
- Katajanheimo R.
- Katajanheimo R.
- Kaun K.-H.
- Kemnitz P.
- Kemnitz P.
- Kemnitz P.
- Kemnitz P.
- Kern J.
- Kime M. B.
- Kirchner R.
- Kisslinger L. S.
- Klamra W.
- Klamra W.
- Kleinheinz P.
- Komov A. L.
- Konijn J.
- Kowakami H.
- Kownacki J.
- Kracikova T. I.
- Krein K.
- Kreiner A. J.
- Kroger L. A.
- Kroger L. A.
- Kuaranen P.
- Kulessa R.
- Kumar K.
- Kumar K.
- Kumar K.
- Kuvaga I. L.
- Kvasil J.
- Ladenbauer-Bellis I. M.
- Lamm I.-L.
- Langhoff H.
- Lanier R. G.
- Lanier R. G.
- Larabee A. J.
- Larabee A. J.
- Larsson S. E.
- Larsson S. E.
- Leander G. A.
- Leander G. A.
- Leander G. A.
- Leander G. A.
- Leander G. A.
- Lederer C. M.
- Lederer C. M.
- Lee I. S.
- Lee M. A.
- Lee M. A.
- Lee M. A.
- Lee M. A.
- Leigh J. R.
- Lewis D. A.
- Lewis D. A.
- Liang C. F.
- Liang C. F.
- Libert J.
- Libert J.
- Lieder R. M.
- Lien J. R.
- Lindblad Th.
- Lindblad Th.
- Lindblad Th.
- Lindblad Th.
- Lindblad Th.
- Liu Y. F.
- Lougheed R. W.
- Lourens W.
- Lu M. T.
- Lukasiak J.
- Løvhøiden G.
- Løvhøiden G.
- Løvhøiden G.
- Løvhøiden G.
- Løvhøiden G.
- Løvhøiden G.
- Løvhøiden G.
- Løvhøiden G.
- Løvhøiden G.
- Løvhøiden G.
- Løvhøiden G.
- Løvhøiden G.
- Løvhøiden G.
- Mackintosh R. S.
- Maher J. V.
- Malmskog S. G.
- Malmskog S. G.
- Malmskog S. G.
- Malov L. A.
- Malov L. A.
- Manfrass P.
- Manfrass P.
- Manfrass P.
- Maples C.
- Maples C.
- Marguier G.
- Marrus R.
- Martz H. E.
- Martz H. E.
- Mauron G.
- McGowan F. K.
- McGowan F. K.
- McGowan F. K.
- McIsaac L. D.
- Meijer B. J.
- Meijer B. J.
- Meijer B. J.
- Meijer B. J.
- Meijer B. J.
- Meldner H. W.
- Meldner H. W.
- Metzger F. R.
- Meyer ter Vehn J.
- Meyer R. A.
- Michaelis W.
- Michaelis W.
- Migdal A. B.
- Minehara E.
- Minor M. M.
- Mirzadeh S.
- Moore E. F.
- Morgen P.
- Morgen P.
- Morii T.
- Mortensen M. H.
- Mottelson B. R.
- Muhlbauer K.
- Mukherjee P.
- Mulligan T. J.
- Murray J.
- Möller P.
- Möller P.
- Möller P.
- Nathan O.
- Nazarewicz W.
- Nazarewicz W.
- Neiburg L. A.
- Nelson D. E.
- Nelson D. E.
- Neskakis A.
- Newton J. O.
- Newton T. D.
- Nilsson B.
- Nilsson S. G.
- Nilsson S. G.
- Nix J. R.
- Norgaard P.
- Nybø K.
- O'Neil R. A.
- Ogle W.
- Ohshima M.
- Ohshima M.
- Olbrich S.
- Oothoudt M. A.
- Orth C. J.
- Oshima M.
- Oshima M.
- Pal M. K.
- Panar J. D.
- Parekh P. P.
- Pedersen J.
- Peker L. K.
- Peng J. C.
- Pinston J. A.
- Plazner Z.
- Polikanov S. M.
- Porter F. T.
- Porter F. T.
- Prasad K. G.
- Preston M. A.
- Price R. H.
- Price R. H.
- Price R. H.
- Prokofjev P. T.
- Prokofjev P. T.
- Pursiheimo V.
- Pyatov N. I.
- Raghavan P.
- Ragnarsson I.
- Ragnarsson I.
- Ragnarsson I.
- Rasmussen J. O.
- Rastikerder S.
- Rathke G. E.
- Reich C. W.
- Reierson J. D.
- Rekstad J.
- Rekstad J.
- Rensfelt K.-G.
- Rezanka I.
- Rezanka I.
- Rezanka I.
- Rezanka I.
- Rezanka I.
- Richter L.
- Richter L.
- Richter R.
- Rickey F. A.
- Rickey F. A., Jr.
- Riedinger L. L.
- Riedinger L. L.
- Riley M. A.
- Ritter J. C.
- Rogers V. C.
- Roussiere B.
- Roy N.
- Rykaczewski K.
- Rykaczewski K.
- Rykaczewski K.
- Sakaguchi M.
- Sarriguren P.
- Schilling K. D.
- Schilling K. D.
- Schmidt H. H.
- Schmidt H. H.
- Schmidt H. H.
- Schmorak M. R.
- Schmorak M. R.
- Schmorak M. R.
- Schmorak M. R.
- Schreckenbach K.
- Schuck C.
- Schuck C.
- Schultze G.
- Seaman G. G.
- Sebille-Schuck C.
- Selin E.
- Seo T.
- Sergienko V. A.
- Sharma H. L.
- Sheline R. K.
- Sheline R. K.
- Sheline R. K.
- Sheline R. K.
- Sheline R. K.
- Sheline R. K.
- Sheline R. K.
- Sheline R. K.
- Sheline R. K.
- Sheline R. K.
- Sheline R. K.
- Sheline R. K.
- Sheline R. K.
- Sheline R. K.
- Shirley V. S.
- Shirley V. S.
- Shirley V. S.
- Shirley V. S.
- Simon R. S.
- Simpson J.
- Simpson J.
- Simpson J.
- Simpson J.
- Singh B.
- Singh K.
- Singh P. P.
- Skanberg B.
- Skensved P.
- Smith A. B.
- Smither R. K.
- Sobiczewski A.
- Sodan H.
- Soloviev V. G.
- Soloviev V. G.
- Soloviev V. G.
- Soloviev V. G.
- Soloviev V. G.
- Soloviev V. G.
- Soloviev V. G.
- Song H. S.
- Sood P. C.
- Sood P. C.
- Sood P. C.
- Spalek A.
- Starner J. W.
- Stecher-Rasmussen F.
- Stephens F. S.
- Sterba F.
- Sterba F.
- Sterba F.
- Stott W. R.
- Straume O.
- Straume O.
- Straume O.
- Struble G. L.
- Strusny H.
- Strutinsky V. M.
- Strutinsky V. M.
- Sugarbaker E. R.
- Svensson L.-G.
- Taketani H.
- Taketani H.
- Tamura T.
- Tanaka Y.
- Tarara R. W.
- Tarara R. W.
- Taras R. W.
- Tayal D. C.
- Teoh W.
- Thompson R.
- Thompson R. C.
- Thomspson R. C.
- Thorsteinsen T. F.
- Thun J. E.
- Tippett J. C.
- Tjöm P. O.
- Tjöm P. O.
- Torres J. P.
- Torres J. P.
- Toth K. S.
- Toth K. S.
- Toth K. S.
- Tuurnala T.
- Tuurnala T.
- Tveter A.
- Twin P. J.
- Ungrin J.
- Van Hise J. R.
- Van Hove M. A.
- Van Isaker P.
- Vandenput G.
- Vaǹo E.
- Vasileva E. V.
- Vergnes M. N.
- Verma H. R.
- Vieu Ch.
- Visvanathan A.
- von Egidy T.
- von Egidy T.
- von Egidy T.
- von Egidy T.
- von Egidy T.
- von Egidy T.
- von Egidy T.
- Voth E.
- Vylov Ts.
- Vylov Ts.
- Vylov Ts.
- Wagner L. K.
- Walker P. M.
- Wallander E.
- Warde E.
- Warner D. D.
- Whineray S.
- White D. H.
- Willmes H.
- Winter G.
- Winter G.
- Winter G.
- Winter G.
- Wood J. L.
- Woods R. D.
- Yamada S.
- Yamazaki T.
- Yamazaki Y.
- Yang C. X.
- Yates S. W.
- Yates S. W.
- Zaitz J. I.
- Publication venue
- 'American Physical Society (APS)'
- Publication date
- Field of study