Elektronenstrahlbelichtungsanlage ZBA 31: Elektronenstrahl-Lithografieausruestung mit hoher Aufloesung und mit grossem Durchsatz nach dem Formstrahlprinzip fuer Maskengenerierung und Waferdirektbelichtung Schlussbericht

Available from TIB Hannover: F94B0224+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEBundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)DEGerman

Produktionstechnik fuer bewegliche Mikrostrukturen auf Substraten am Beispiel des Beschleunigungssensors (PROBE). Teilprojekt: Jenoptik. Erstellung der Anlagenprototypen

Available from TIB Hannover: F97B1385+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman

Flat Optical Element Technology and Application Final report

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DtF QN1(53,47) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany); European Union (Euro), Brussels (Belgium)DEGerman

Entwicklung des LIGA-Verfahrens zum technischen Dienstleistungsprozess fuer die Mikrosystemtechnik Entwicklung, Erprobung und Applikation einer Roentgenbestrahlungsapparatur zur Weiterentwicklung des LIGA-Verfahrens. Schlussbericht

The flexible, transportable irradiation apparatus (0.6 m x 1.5 m x 1.9 m) enables a rapid and simple connection to a synchrotron radiation source. A mechanically stable window transparent for X-ray radiation separates the high-vacuum part containing the beam leading system and the filter chamber from the working chamber operating at atmospheric pressure. The apparatus is equipped with an internal overlapping system for the measuring of structure positions on masks and resists. By this system adjustment faults are corrected. The apparatus is designed for objects up to 150 mm diameter and resist layers up to 1000 #mu#m thickness. (WEN)Available from TIB Hannover: F96B1569+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman

Automatische Bildkontrolle - ABIKO/C Abschlussbericht

Available from TIB Hannover: F96B2054 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman

Theoretische und experimentelle Grundlagenuntersuchungen zur hochgenauen optoelektronischen Vermessung des Fixsternhimmels von Satelliten aus Abschlussbericht

Available from TIB Hannover: F97B393+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEBundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)DEGerman

Testanlage fuer Orbitale Servising Technologie (Unbemanntes Servicing Element) Abschlussbericht

Available from TIB Hannover: F97B116+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEBundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)DEGerman

Analyse neuartiger Kristallstrukturen unter dem Einfluss hoher spektraler Leistungsdichten. Teilvorhaben: Grundlegende Untersuchungen zu thermischen Eigenschaften diodengepumpter IR-Hochleistungslaser Abschlussbericht

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DtF QN1(43,21) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman

Smart Fabrication - Flexible Fab Abschlussbericht

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F99B579 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman

Die marktwirtschaftlichen Reformen in Nishnij Novgorod (Russland)

Available from Bibliothek des Instituts fuer Weltwirtschaft, ZBW, Duesternbrook Weg 120, D-24105 Kiel C 198566 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEDEGerman