Réflectivité non spéculaire d'une multicouche silicium-molybdène par la méthode de dispersion d'énergie des rayons X (5 – 20 keV)

L'intensité diffusée, hors de la direction de réflexion spéculaire, est étudiée pour une multicouche périodique Mo/Si éclairée par un rayonnement blanc. La méthode employée est celle par dispersion d'énergie, aussi connue sous le nom de Energy Dispersive Method (EDM). Dans l'espace réciproque, le plan (Qx,Qz) est exploré en effectuant un balayage transversal (rocking-scan). On montre les intensités réfléchies et diffusées, dans le plan d'incidence, en fonction de l'angle d'incidence et de l'énergie des photons incidents. On décrit aussi les différentes traînées de diffusion observées.The intensity scattered outside the specular reflexion direction has been measured on a periodic Mo/Si multilayer illuminated by an X-ray continuous spectrum. The Energy Dispersive Method (EDM) is used to study this intensity. In the reciprocal space, the (Qx,Qz) plane is investigated through various rocking scans. We discuss the reflected and scatterd intensities, in the incidence plane as a function of the incidence angle and energy of impinging photons. The various diffused scattered streaks which are observed are also discussed

Etude de matériaux multicouches par réflectivité X en incidence rasante. Méthode par dispersion d'énergie. Comparaison théorie-expérience

L'étude de la structure des multicouches par réflectivité X en incidence rasante est abordée en utilisant la méthode de dispersion d'énergie. On illustre l'intérêt d'associer le caicui et la mesure de la répartition spectrale réfléchie, lorsqu'une couche est éclairée par un rayonnement X polychromatique à un angle d'incidence choisi, en étudiant in situ la réflectivité d'un dépôt Mo/Si en cours d'élaboration. Après avoir vérifié la validité des calculs effectués en utilisant les tables d'indice déduits des valeurs de Berger et Hubbell, on montre comment la connaissance simultanée des résultats calculés et mesurés permet de contrôler la qualité d'un dépôt. La méthode qui utilise une bande d'énergie comprise entre 4 et 40 keV est comparée à celle de Spiller dont le contrôle du dépôt est réalisé B l'aide de rayons X mous.The grazing incidence angle mdtilayer reflectivity using the Energy Dispersive Method is presented. Reflectivity calculations and measurments are used for multilayers exposed to polychromatic X-rays with a selected incidence angle; this is done for studying, in sia. reflectivity of a Mo/Si deposit during its growth thus permitting a quality control. The method using the 4-40 keV energy range is compareci to Spiller's for which the deposit is controled by soft X-ray