Solutions alternatives pour le filtrage des couleurs d'un capteur d'images numériques en technologie CMOS

Les capteurs d images numériques sont de plus en plus présents dans notre vie quotidienne : caméra pour téléphone portable, webcams etc. Cet énorme marché suit la tendance d une augmentation de la résolution tout en gardant une taille de capteur restreinte, augmentant ainsi le problème de la collection de la lumière au sein du pixel. Dans les capteurs d images CMOS, une solution serait de minimiser la distance entre les filtres colorés et la photodiode, ce qui implique que les filtres colorés puissent supporter un budget thermique au dessus de 500C. Dans cette étude, nous avons investigué expérimentalement des filtres colorés minéraux en transmission qui ont été élaboré par dépôt MOCVD. Les avantages principaux de ces derniers demeurent leur épaisseur (< 1 m ou presque), le budget thermique qu ils peuvent supporter ( au-delà de 500C) et la résistance vis-à-vis du recuit RH5.Digital image sensors are more and more present in every day of life: camera phones, webcams etc. This big market follows a main trend which is higher resolution while keeping small sensors, emphasizing the problem of light collection inside the pixel. ln Complementary Metal Oxide Semiconductor (CM OS) image sensors, a solution wou Id be to minimize the distance between the colour filters and the photodiode, what implies that colour filters could support a thermal process above 5OOC.ln this study, we investigate experimentally inorganic transmission colour filters using thin films prepared by MOCVD (Metal Organic Chemical Va pour Deposition). The main advantages of these filters remain their thickness llJm or almost), the annealing temperatu.re they can support (over 5OOc) and the resistance to the RHS annealing.GRENOBLE1-BU Sciences (384212103) / SudocSudocFranceF